"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Different properties of aluminum doped zinc oxide nanostructured thin films prepared by radio frequency magnetron sputtering
Bidmeshkipour Samina1, Shahtahmasebi Nasser1
1Department of Physics, Ferdowsi University of Mashhad, Mashhad, Iran
Поступила в редакцию: 9 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 22 мая 2013 г.

Aluminium doped zinc oxide (AZO) nanostructured thin films are prepared by radio frequency magnetron sputtering on glass substrate using specifically designed ZnO target containing different amount of Al2O3 powder as the Al doping source. The optical properties of the aluminium doped zinc oxide films are investigated. The topography of the deposited films were investigated by Atomic Force Microscopy. Variation of the refractive index by annealing temperature are considered and it is seen that the refractive index increases by increasing the annealing temperature.
  • J.F. Chang, W.C. Lin, M.H. Hon. Appl. Surf. Sci. 183 18 (2001)
  • A. Moustaghfir et al. Surf. Coat. Technol., 174, 193 (2003)
  • Oe. Oezgur et al. Appl. Phys. Rev., 98, 041 301 (2005)
  • T. Minami, H. Sato, H. Nanto, S. Takata. Jpn. J. Appl. Phys., 24, L781 (1985) pt 2
  • S.Y. Myong, S.J. Baik, C.H. Lee, W.Y. Cho, K.S. Lim. Jpn. J. Appl. Phys., 36, L1078 (1997) pt 2
  • B.M. Ataev, A.M. Bagamadova, A.M. Djabrailov, V.V. Mamedo, R.A. Rabadanov. Thin Sol. Films, 260, 19 (1995)
  • V. Assuncao, E. Fortunato, A. Marques, H. Aguas, I. Ferreira, M.E.V. Costa, R. Martins. Thin Sol. Films, 427, 401 (2003)
  • Z.F. Liu, F.K. Shan, Y.X. Li, B.C. Shin, Y.S. Yu. J. Cryst. Growth, 259, 130 (2003)
  • M. Chen, Z. Pei, W. Xi, C. Sun, L. Wen. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 666, F. 1.2 (2001)
  • H.J. Ko, Y.F. Chen, S.K. Hong, H. Wenisch, T. Yao, D.C. Look. Appl. Phys. Lett., 77, 3761 (2000)
  • T. Minami, H. Nanto, S. Takata. Jpn. J. Appl. Phys., 23, L280 (1984) pt 2
  • T. Fukumura, Z. Jin, A. Ohtomo, H. Koinuma, M. Kawasaki. Appl. Phys. Lett., 75, 3366 (1999)
  • E. Burstein. Phys. Rev., 93 (6), 100 (1954)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.