"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Характер изменения обратного тока в туннельных МДП-диодах с фторидом кальция на Si(111) при создании дополнительного оксидного слоя
Переводная версия: 10.1134/S1063782619060034
Банщиков А.Г.1, Илларионов Ю.Ю.1,2, Векслер М.И.1, Wachter S.2, Соколов Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Технический университет гор. Вены, Гусхаусштрассе 27
Email: vexler@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 10 января 2019 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2019 г.

Проведено сравнение токов, протекающих в структурах металл/CaF2/n-Si и металл/SiO2/CaF2/n-Si с одинаковой (около 1.5 нм) толщиной фторида в режиме обратного смещения. Показано, что в некотором диапазоне напряжений ток через двухслойную систему может оказаться заметно больше по величине. Такое несколько неожиданное поведение связывается с сосуществованием электронной и дырочной компонент тока, а также с особенностями формы SiO2/CaF_2-барьера, через который происходит туннелирование. Представлены результаты измерений и поясняющие расчетные данные.
  • M. Sugiyama, M. Oshima. Microelectron. J., 27, 361 (1996)
  • S. Watanabe, M. Maeda, T. Sugisaki, K. Tsutsui. Jpn. J. Appl. Phys., 44 (4B), 2637 (2005)
  • A. Huang, X. Zhang, Y. Li, M. Wang, Z. Xiao. J. Appl. Phys., 122, 195702 (2017)
  • E.M. Vogel, K.Z. Ahmed, B. Hornung, W.K. Henson, P.L. McLarty, G. Lucovsky, J.R. Hauser, J.J. Wortman. IEEE Trans. Electron Dev., 45 (6), 1350 (1998)
  • A.F. Shulekin, M.I. Vexler, H. Zimmermann. Semicond. Sci. Technol., 14 (5), 470 (1999)
  • S.E. Tyaginov, Yu.Yu. Illarionov, M.I. Vexler, M. Bina, J. Cervenka, J. Franco, B. Kaczer, T. Grasser. J. Comput. Electron., 13 (3), 733 (2014)
  • Ph. Avouris, R. Wolkow. Appl. Phys. Lett., 55 (11), 1074 (1989)
  • Ю.Ю. Илларионов, А.Г. Банщиков, Н.С. Соколов, S. Wachter, М.И. Векслер. Письма ЖТФ, 44 (24), 150 (2018)
  • C. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) кн. 2, гл. 9
  • B.C. Hsu, C.-Y. Liu, W.-T. Liu, H.-L. Chen. IEEE Trans. Electron Dev., 48 (8), 1747 (2001)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.