"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Характер изменения обратного тока в туннельных МДП-диодах с фторидом кальция на Si(111) при создании дополнительного оксидного слоя
Переводная версия: 10.1134/S1063782619060034
Банщиков А.Г.1, Илларионов Ю.Ю.1,2, Векслер М.И.1, Wachter S.2, Соколов Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Технический университет гор. Вены, Гусхаусштрассе 27
Email: vexler@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 10 января 2019 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2019 г.

Проведено сравнение токов, протекающих в структурах металл/CaF2/n-Si и металл/SiO2/CaF2/n-Si с одинаковой (около 1.5 нм) толщиной фторида в режиме обратного смещения. Показано, что в некотором диапазоне напряжений ток через двухслойную систему может оказаться заметно больше по величине. Такое несколько неожиданное поведение связывается с сосуществованием электронной и дырочной компонент тока, а также с особенностями формы SiO2/CaF_2-барьера, через который происходит туннелирование. Представлены результаты измерений и поясняющие расчетные данные.
  1. M. Sugiyama, M. Oshima. Microelectron. J., 27, 361 (1996)
  2. S. Watanabe, M. Maeda, T. Sugisaki, K. Tsutsui. Jpn. J. Appl. Phys., 44 (4B), 2637 (2005)
  3. A. Huang, X. Zhang, Y. Li, M. Wang, Z. Xiao. J. Appl. Phys., 122, 195702 (2017)
  4. E.M. Vogel, K.Z. Ahmed, B. Hornung, W.K. Henson, P.L. McLarty, G. Lucovsky, J.R. Hauser, J.J. Wortman. IEEE Trans. Electron Dev., 45 (6), 1350 (1998)
  5. A.F. Shulekin, M.I. Vexler, H. Zimmermann. Semicond. Sci. Technol., 14 (5), 470 (1999)
  6. S.E. Tyaginov, Yu.Yu. Illarionov, M.I. Vexler, M. Bina, J. Cervenka, J. Franco, B. Kaczer, T. Grasser. J. Comput. Electron., 13 (3), 733 (2014)
  7. Ph. Avouris, R. Wolkow. Appl. Phys. Lett., 55 (11), 1074 (1989)
  8. Ю.Ю. Илларионов, А.Г. Банщиков, Н.С. Соколов, S. Wachter, М.И. Векслер. Письма ЖТФ, 44 (24), 150 (2018)
  9. C. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) кн. 2, гл. 9
  10. B.C. Hsu, C.-Y. Liu, W.-T. Liu, H.-L. Chen. IEEE Trans. Electron Dev., 48 (8), 1747 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.