"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние температуры фотонного отжига на структурные и оптические свойства пленок ZnO, синтезированных методом дуального магнетронного распыления
Переводная версия: 10.1134/S106378261902026X
Зайцев С.В.1, Ващилин В.С.1, Колесник В.В.1, Лимаренко М.В.1, Прохоренков Д.С.1, Евтушенко Е.И.1
1Белгородский государственный технологический университет имени В.Г. Шухова, Белгород, Россия
Email: sergey-za@mail.ru
Поступила в редакцию: 13 июня 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Пленки ZnO толщиной 1.4 мкм осаждали на стеклянные подложки методом дуального магнетронного распыления мишеней Zn в газовой среде аргона и кислорода. Проведены исследования зависимости структурных и оптических характеристик пленок ZnO от температуры фотонного отжига после осаждения. Установлено что, повышение температуры отжига приводит к повышению степени кристалличности пленок. Электронная микроскопия показала, что осажденное покрытие ZnO имеет столбчатую структуру, причем отжиг увеличивает плотность микроструктуры и размер кристаллита. Обнаружено, что при температуре отжига 450-650oC коэффициент оптического пропускания увеличился до значения >90% в спектральной области 400-1100 нм. Экспериментальные результаты показывают, что температура фотонного отжига в вакууме оказывает наибольшее влияние на конечные свойства покрытий ZnO.
  • V. Senay, S. Pat, S. Korkmaz, T. Aydogmus, S. Elmas, S. Ozen, N. Ekem, M.Z. Balbag. Appl. Surf. Sci., 318, 2 (2014)
  • V.S. Burakov, N.V. Tarasenko, E.A. Nevar, M.I. Nedel'ko. Technical Physics, 56 (2), 245 (2011)
  • D.T. Phan, G.S. Chung. Appl. Surf. Sci., 257 (9), 4339 (2011)
  • Y. Natsume, H. Sakata. J. Mater. Sci.: Materials in Electronics, 12 (2), 87 (2001)
  • Z. Li, Z. Hu, L. Jiang, H. Huang, F. Liu, X. Zhang, Y. Wang, P. Yin, L. Guo. Mater. Lett., 79, 209 (2012)
  • M. Suchea, S. Christoulakis, C. Tibeica, M. Katharakis, N. Kornilios, T. Efthimiopoulos, E. Koudoumas. Appl. Surf. Sci., 254 (17), 5475 (2008)
  • В.Б. Залесский, Т.Р. Леонова, О.В. Гончарова, И.А. Викторов, В.Ф. Гременок, Е.П. Зарецкая. Физика и химия твердого тела, 6 (1), 44 (2005)
  • K.W. Kim, H.S. Son, N.J. Choi, J. Kim, S.N. Lee. Thin Sol. Films, 546, 114 (2013)
  • B. Zhang, B. Yao, S. Wang, Y. Li, C. Shan, J. Zhang, B. Li, Z. Zhang, D. Shen. J. Alloys Comp., 503 (1), 155 (2010).
  • А.И. Кузьмичев. Магнетронные распылительные системы (М., Изд-во Аверс, 2008)
  • D. Manova, J.W. Gerlach, S. Mandl. Materials, 3 (8), 4109 (2010)
  • J.R.R. Bortoleto, M. Chaves, A.M. Rosa, E.P. da Silva, S.F. Durrant, L.D. Trino, P.N. Lisboa-Filho. Appl. Surf. Sci., 334, 210 (2015)
  • В.М. Нарцев, М.С. Агеева, Д.С. Прохоренков, С.В. Зайцев, С.В. Карацупа, В.С. Ващилин. Вестн. БГТУ им. В.Г. Шухова, 6, 168 (2013)
  • С.В. Зайцев, В.М. Нарцев, В.С. Ващилин, Д.С. Прохоренков, Е.И. Евтушенко. Российские нанотехнологии, 11 (5-6), 18 (2016)
  • C.W. Hsu, T.C. Cheng, C.H. Yang, Y.L. Shen, J.S. Wu, S.Y. Wu. J. Alloys Comp., 509 (5), 1774 (2011)
  • Y.Y. Kim, S.W. Kang, B.H. Kong, H.K. Cho. Physica B: Condens. Matter, 401, 408 (2007)
  • A. Purohit, S. Chander, A. Sharma, S.P. Nehra, M.S. Dhaka. Optical Mater., 49, 51 (2015)
  • G.A. Kumar, M.R. Reddy, K.N. Reddy. J. Physics: Conf. Ser., 365 (1), 012031 (2012). http://iopscience.iop.org/ article/10.1088/1742-6596/365/1/012031/meta
  • Z.B. Fang, Z.J. Yan, Y.S. Tan, X.Q. Liu, Y.Y. Wang. Appl. Surf. Sci., 241 (3--4), 303 (2005)
  • S.U. Lee, B. Hong, J.H. Boo. Funct. Mater. Lett., 3 (02), 119 (2010)
  • A.L. Mercado, C.E. Allmond, J.G. Hoekstra, J.M. Fitz-Gerald. Appl. Phys. A, 81 (3), 591 (2005)
  • G.P. Daniel, V.B. Justinvictor, P.B. Nair, K. Joy, P. Koshy, P.V. Thomas. Physica B: Condens. Matter, 405 (7), 1782 (2010)
  • O. Lupan, T. Pauporte, L. Chow, B. Viana, F. Pelle, L.K. Ono, B.R. Cuenya, H. Heinrich. Appl. Surf. Sci., 256 (6), 1895 (2010)
  • E.N. Cho, S. Park, I. Yun. Current Appl. Phys., 12 (6), 1606 (2012)
  • M.F. Malek, M.H. Mamat, M.Z. Musa, Z. Khusaimi, M.Z. Sahdan, A.B. Suriani, A. Ishak, I. Saurdi, S.A. Rahman, M. Rusop. J. Alloys Comp., 610, 575 (2014).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.