"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электрические свойства тонких пленок оксида индия, полученных методом плазменно-термического испарения
Переводная версия: 10.1134/S1063782618120114
Ильин А.С. 1, Мацукатова А.Н.1, Форш П.А. 1,2,3, Vygranenko Yu.4
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
3Московский физико-технический институт (факультет нано-, био-, информационных и когнитивных технологий), Долгопрудный, Россия
4CTS-UNINOVA, Quinta da Torre,-516 Caparica, Portugal
Email: as.ilin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 28 февраля 2018 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.

Исследованы структура и электрические свойства прозрачных тонких пленок оксида индия, полученных методом плазменно-термического испарения при различных температурах подложки. Определено, что пленки имеют зернистую структуру. Увеличение температуры подложки приводит к значительному росту проводимости пленок и к уменьшению времени релаксации фотопроводимости. Предложено объяснение влияния температуры подожки на наблюдаемые изменения электрических и фотоэлектрических свойств исследованных пленок оксида индия.
  1. S. Lee, Y. Song, H. Park, A. Zaslavsky, D. Paine. Sol. St. Electron., 135, 94 (2017)
  2. G.G. Untila, T.N. Kost, A.B. Chebotareva. Sol. Energy, 159, 173 (2018)
  3. S. Dellis, I. Isakov, N. Kalfagiannis, K. Tetzner, T. Anthopoulos, D. Koutsogeorgis. J. Mater. Chem. C, 5 (15), 3673 (2017)
  4. Dhananjay, Shiau-Shin Cheng, Chuan-Yi Yang, Chun-Wei Ou, You-Che Chuang, M Chyi Wu, Chih-Wei Chu. J. Phys. D: Appl. Phys., 41 (9), 92006 (2008)
  5. G. Korotcenkov, V. Brinzari, S.H. Han, B.K. Cho. Mater. Chem. Phys., 175, 188 (2016)
  6. A.S. Ilin, M.I. Ikim, P.A. Forsh, T.V. Belysheva, M.N. Martyshov, P.K. Kashkarov, L.I. Trakhtenberg. Sci. Rep., 7 (1), 12204 (2017)
  7. M.N. Martyshov, E.A. Forsh, A.V. Marikutsa, P.A. Forsh, M.N. Rumyantseva, A.M. Gaskov, P.K. Kashkarov. J. Nanoelectron. Optoelectron., 6 (4), 452 (2011)
  8. Е.А. Форш, А.В. Марикуца, М.Н. Мартышов, П.А. Форш, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов, П.К Кашкаров. Рос. нанотехнол., 7 (3-4), 87 (2012). [English version: E.A. Forsh, A.V. Marikutsa, M.N. Martyshov, P.A. Forsh, M.N. Rumyantseva, A.M. Gaskov, P.K. Kashkarov. Nanotechnologies Russ., 7 (3-4), 164 (2012)]
  9. A. Gurlo, M. Ivanovskaya, A. Pfau, U. Weimar, W.G. Spel. Thin Solid Films, 307, 288 (1997)
  10. A. Ilin, M. Martyshov, E. Forsh, P. Forsh, M. Rumyantseva, A. Abakumov, A. Gaskov, P. Kashkarov. Sensors Actuators B Chem., 231 (2), 491 (2016)
  11. J.K. Sheu, Y.K. Su, G.C. Chi, M.J. Jou, C.M. Chang. Appl. Phys. Lett., 72 (25), 3317 (1998)
  12. I.N. Reddy, Ch.V. Reddy, M. Cho, J. Shim, D. Kim. Mater. Res. Express, 4 (8), 86406 (2017)
  13. M. Suchea, N. Katsarakis, S. Christoulakis, S. Nikolopoulou, G. Kiriakidis. Sensors Actuators B Chem., 118, 135 (2006)
  14. S.K. Chong, S.N.A. Azizan, K.W. Chan, H. Nguyen, W.S. Chiu, Z. Aspanut, Ch.F. Dee, S.A. Rahman. NRL, 8 (1), 428 (2013)
  15. C. Li, D. Zhang, S. Han, X. Liu, T. Tang, C. Zhou. Adv. Mater., 15 (2), 143 (2003)
  16. E.A. Forsh, A.V. Marikutsa, M.N. Martyshov, P.A. Forsh, M.N. Rumyantseva, A.M. Gaskov, P.K. Kashkarov. Thin Sol. Films, 558, 320 (2014)
  17. M. Fernandes, Y. Vygranenko, M. Vieira, G. Lavareda, C. Nunes de Carvalho, A. Amaral. Energy Procedia., 102, 96 (2016)
  18. J. Ni, L. Wang, Y. Yang, H. Yan, S. Jin, T.J. Marks, J.R. Ireland, C.R. Kannewurf. Inorg. Chem., 44 (17), 6071 (2005)
  19. J.H.W. de Wit. J. Solid State Chem., 149 (2), 142 (1973)
  20. E. Barsoukov, J.R. Macdonald. Impedance Spectroscopy: Theory, Experiment, and Applications (Hoboken, USA, John Wiley \& Sons, 2005)
  21. Е.А. Форш, А.С. Ильин, М.Н. Мартышов, П.А. Форш, П.К. Кашкаров. Рос. нанотехнол., 9 (11-12), 18 (2014). [English version: E.A. Forsh, A.S. Ilyin, M.N. Martyshov, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov. Nanotechnologies Russ., 9 (11-12), 618 (2014)]
  22. A.T. Vai, N. Rashidi, Y. Fang, V.L. Kuznetsov, P.P. Edwards. J. Phys. Condens. Matter, 28 (22), 224003 (2016)
  23. A. Dixit, Raghava P. Panguluri, C. Sudakar, P. Kharel, P. Thapa, I. Avrutsky, R. Naik, G. Lawes, B. Nadgorny. Appl. Phys. Lett., 94, 252105 (2009)
  24. E.A. Forsh, A.M. Abakumov, V.B. Zaytsev, E.A. Konstantinova, P.A. Forsh, M.N. Rumyantseva, A.M. Gaskov, P.K. Kashkarov. Thin Sol. Films, 595, 25 (2015)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.