"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрические свойства тонких пленок оксида индия, полученных методом плазменно-термического испарения
Переводная версия: 10.1134/S1063782618120114
Ильин А.С. 1, Мацукатова А.Н.1, Форш П.А. 1,2,3, Vygranenko Yu.4
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
3Московский физико-технический институт (факультет нано-, био-, информационных и когнитивных технологий), Долгопрудный, Россия
4CTS-UNINOVA, Quinta da Torre,-516 Caparica, Portugal
Email: as.ilin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 28 февраля 2018 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.

Исследованы структура и электрические свойства прозрачных тонких пленок оксида индия, полученных методом плазменно-термического испарения при различных температурах подложки. Определено, что пленки имеют зернистую структуру. Увеличение температуры подложки приводит к значительному росту проводимости пленок и к уменьшению времени релаксации фотопроводимости. Предложено объяснение влияния температуры подожки на наблюдаемые изменения электрических и фотоэлектрических свойств исследованных пленок оксида индия.
  • S. Lee, Y. Song, H. Park, A. Zaslavsky, D. Paine. Sol. St. Electron., 135, 94 (2017)
  • G.G. Untila, T.N. Kost, A.B. Chebotareva. Sol. Energy, 159, 173 (2018)
  • S. Dellis, I. Isakov, N. Kalfagiannis, K. Tetzner, T. Anthopoulos, D. Koutsogeorgis. J. Mater. Chem. C, 5 (15), 3673 (2017)
  • Dhananjay, Shiau-Shin Cheng, Chuan-Yi Yang, Chun-Wei Ou, You-Che Chuang, M Chyi Wu, Chih-Wei Chu. J. Phys. D: Appl. Phys., 41 (9), 92006 (2008)
  • G. Korotcenkov, V. Brinzari, S.H. Han, B.K. Cho. Mater. Chem. Phys., 175, 188 (2016)
  • A.S. Ilin, M.I. Ikim, P.A. Forsh, T.V. Belysheva, M.N. Martyshov, P.K. Kashkarov, L.I. Trakhtenberg. Sci. Rep., 7 (1), 12204 (2017)
  • M.N. Martyshov, E.A. Forsh, A.V. Marikutsa, P.A. Forsh, M.N. Rumyantseva, A.M. Gaskov, P.K. Kashkarov. J. Nanoelectron. Optoelectron., 6 (4), 452 (2011)
  • Е.А. Форш, А.В. Марикуца, М.Н. Мартышов, П.А. Форш, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов, П.К Кашкаров. Рос. нанотехнол., 7 (3-4), 87 (2012). [English version: E.A. Forsh, A.V. Marikutsa, M.N. Martyshov, P.A. Forsh, M.N. Rumyantseva, A.M. Gaskov, P.K. Kashkarov. Nanotechnologies Russ., 7 (3-4), 164 (2012)]
  • A. Gurlo, M. Ivanovskaya, A. Pfau, U. Weimar, W.G. Spel. Thin Solid Films, 307, 288 (1997)
  • A. Ilin, M. Martyshov, E. Forsh, P. Forsh, M. Rumyantseva, A. Abakumov, A. Gaskov, P. Kashkarov. Sensors Actuators B Chem., 231 (2), 491 (2016)
  • J.K. Sheu, Y.K. Su, G.C. Chi, M.J. Jou, C.M. Chang. Appl. Phys. Lett., 72 (25), 3317 (1998)
  • I.N. Reddy, Ch.V. Reddy, M. Cho, J. Shim, D. Kim. Mater. Res. Express, 4 (8), 86406 (2017)
  • M. Suchea, N. Katsarakis, S. Christoulakis, S. Nikolopoulou, G. Kiriakidis. Sensors Actuators B Chem., 118, 135 (2006)
  • S.K. Chong, S.N.A. Azizan, K.W. Chan, H. Nguyen, W.S. Chiu, Z. Aspanut, Ch.F. Dee, S.A. Rahman. NRL, 8 (1), 428 (2013)
  • C. Li, D. Zhang, S. Han, X. Liu, T. Tang, C. Zhou. Adv. Mater., 15 (2), 143 (2003)
  • E.A. Forsh, A.V. Marikutsa, M.N. Martyshov, P.A. Forsh, M.N. Rumyantseva, A.M. Gaskov, P.K. Kashkarov. Thin Sol. Films, 558, 320 (2014)
  • M. Fernandes, Y. Vygranenko, M. Vieira, G. Lavareda, C. Nunes de Carvalho, A. Amaral. Energy Procedia., 102, 96 (2016)
  • J. Ni, L. Wang, Y. Yang, H. Yan, S. Jin, T.J. Marks, J.R. Ireland, C.R. Kannewurf. Inorg. Chem., 44 (17), 6071 (2005)
  • J.H.W. de Wit. J. Solid State Chem., 149 (2), 142 (1973)
  • E. Barsoukov, J.R. Macdonald. Impedance Spectroscopy: Theory, Experiment, and Applications (Hoboken, USA, John Wiley \& Sons, 2005)
  • Е.А. Форш, А.С. Ильин, М.Н. Мартышов, П.А. Форш, П.К. Кашкаров. Рос. нанотехнол., 9 (11-12), 18 (2014). [English version: E.A. Forsh, A.S. Ilyin, M.N. Martyshov, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov. Nanotechnologies Russ., 9 (11-12), 618 (2014)]
  • A.T. Vai, N. Rashidi, Y. Fang, V.L. Kuznetsov, P.P. Edwards. J. Phys. Condens. Matter, 28 (22), 224003 (2016)
  • A. Dixit, Raghava P. Panguluri, C. Sudakar, P. Kharel, P. Thapa, I. Avrutsky, R. Naik, G. Lawes, B. Nadgorny. Appl. Phys. Lett., 94, 252105 (2009)
  • E.A. Forsh, A.M. Abakumov, V.B. Zaytsev, E.A. Konstantinova, P.A. Forsh, M.N. Rumyantseva, A.M. Gaskov, P.K. Kashkarov. Thin Sol. Films, 595, 25 (2015)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.