"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Устойчивость высоковольтных (1430 В) 4H-SiC p+-n0-n+-диодов к лавинному пробою
Переводная версия: 10.1134/S1063782618120126
Иванов П.А.1, Самсонова Т.П.1, Потапов А.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Pavel.Ivanov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 мая 2018 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.

Проведены исследования электротеплового пробоя в высоковольтных (1430 В) 4H-SiC p+-n0-n+-диодах c толщиной n0-базы 7.5 мкм, концентрацией доноров 8.0·1015 см-3 и площадью 4.9·10-4 см2. Устойчивость диодов к лавинному пробою охарактеризована максимальной энергией одиночного импульса лавинного тока, которая может быть рассеяна диодом до того, как происходит его катастрофический отказ (деструкция). При длительности импульса ~ 1 мкс максимальная энергия составляет 1.4 мДж (2.9 Дж/см2). Показано, что деструкция диодов вызвана локальным перегревом структуры диода до температуры около 1600 K, при которой концентрация собственных носителей становится больше концентрации легирующих доноров в блокирующей n0-базе.
  1. T. Basler, R. Rupp, R. Gerlach, B. Zippelius, M. Draghici. PCIM Europe Proceedings, 180 (2016)
  2. A. Konstantinov, S. Jinman, S. Young, F. Allerstam, T. Neyer. PCIM Europe Proceedings, 586 (2015)
  3. A. Konstantinov, S. Jinman, S. Young, B. Lee, F. Allerstam, T. Neyer, S. Akram. Mater. Sci. Forum., 858, 777 (2016)
  4. П.А. Иванов, И.В. Грехов, Н.Д. Ильинская, Т.П. Самсонова. ФТП, 39(12), 1475 (2005)
  5. A.O. Konstantinov, Q. Wahab, N. Nordell, U. Lindefelt. APL, 71 (1), 90 (1997)
  6. А.С. Тагер, В.М. Вальд-Перлов. Лавинно-пролетные диоды и их применение в технике СВЧ (Моск. типография N 10 Главполиграфпрома, 1968)
  7. П.А. Иванов, А.С. Потапов, Т.П. Самсонова, И.В. Грехов. ФТП, 51 (3), 390 (2017)
  8. A.O. Konstantinov, N. Nordell, Q. Wahab, U. Lindefelt. APL, 73 (13), 1850 (1998)
  9. K.V. Vassilevski, K. Zekentes, A.V. Zorenko, L.P. Romanov. IEEE Electron Dev. Lett., 21 (10), 485 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.