"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Устойчивость высоковольтных (1430 В) 4H-SiC p+-n0-n+-диодов к лавинному пробою
Переводная версия: 10.1134/S1063782618120126
Иванов П.А.1, Самсонова Т.П.1, Потапов А.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Pavel.Ivanov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 мая 2018 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.

Проведены исследования электротеплового пробоя в высоковольтных (1430 В) 4H-SiC p+-n0-n+-диодах c толщиной n0-базы 7.5 мкм, концентрацией доноров 8.0·1015 см-3 и площадью 4.9·10-4 см2. Устойчивость диодов к лавинному пробою охарактеризована максимальной энергией одиночного импульса лавинного тока, которая может быть рассеяна диодом до того, как происходит его катастрофический отказ (деструкция). При длительности импульса ~ 1 мкс максимальная энергия составляет 1.4 мДж (2.9 Дж/см2). Показано, что деструкция диодов вызвана локальным перегревом структуры диода до температуры около 1600 K, при которой концентрация собственных носителей становится больше концентрации легирующих доноров в блокирующей n0-базе.
  • T. Basler, R. Rupp, R. Gerlach, B. Zippelius, M. Draghici. PCIM Europe Proceedings, 180 (2016)
  • A. Konstantinov, S. Jinman, S. Young, F. Allerstam, T. Neyer. PCIM Europe Proceedings, 586 (2015)
  • A. Konstantinov, S. Jinman, S. Young, B. Lee, F. Allerstam, T. Neyer, S. Akram. Mater. Sci. Forum., 858, 777 (2016)
  • П.А. Иванов, И.В. Грехов, Н.Д. Ильинская, Т.П. Самсонова. ФТП, 39(12), 1475 (2005)
  • A.O. Konstantinov, Q. Wahab, N. Nordell, U. Lindefelt. APL, 71 (1), 90 (1997)
  • А.С. Тагер, В.М. Вальд-Перлов. Лавинно-пролетные диоды и их применение в технике СВЧ (Моск. типография N 10 Главполиграфпрома, 1968)
  • П.А. Иванов, А.С. Потапов, Т.П. Самсонова, И.В. Грехов. ФТП, 51 (3), 390 (2017)
  • A.O. Konstantinov, N. Nordell, Q. Wahab, U. Lindefelt. APL, 73 (13), 1850 (1998)
  • K.V. Vassilevski, K. Zekentes, A.V. Zorenko, L.P. Romanov. IEEE Electron Dev. Lett., 21 (10), 485 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.