"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Применение спектроскопии фотолюминесценции для исследования поперечного скола многослойных гетероструктур
Планкина С.М.1, Вихрова О.В.2, Звонков Б.Н.2, Нежданов А.В.1, Пашенькин И.Ю.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: plankina@phys.unn.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.

Показана возможность комплексного применения фотолюминесценции и спектроскопии комбинационного рассеяния в режиме латерального сканирования поперечных сколов гетероструктур для контроля распределения напряжений, определения толщины эпитаксиальных слоев и состава твердых растворов. Указанным способом исследованы свойства лазерной гетероструктуры с квантовыми ямами InGaAs/GaAsP. Продемонстрирована возможность дифференцированно регистрировать фотолюминесцентное излучение от различных слоев структуры. Установлено, что определение состава твердого раствора InxGa1-xP по частотному положению InP-подобной моды и по энергии фотолюминесценции дает близкие значения. DOI: 10.21883/FTP.2017.11.45101.15
  • M. Arai, K. Nakashima, T. Fujisawa, T. Tadokoro, W. Kobayashi, M. Yuda, Y. Kondo. IEEE J. Select. Topics Quant. Electron., 15 (3), 724. (2009)
  • S. Nakashima, T. Yamamoto, A. Ogura, K. Uejima, T. Yamamoto. Appl. Phys. Lett., 84 (14), 2533 (2004)
  • S.M. Plankina, O.V. Vikhrova, Yu.A. Danilov, B.N. Zvonkov, N.Yu. Konnova, A.V. Nezhdanov, I.Yu. Pashen'kin. Semiconductors, 50 (11), 1539 (2016)
  • П.Ю, М. Кардона. Основы физики полупроводников, пер. с англ.: И.И. Решиной, под ред. Б.П. Захарчени (М., Физматлит, 2002) гл. 7, с. 342
  • H. Lee, D. Biswas, M.V. Klein, H. Morkoc, D.E. Aspnes, B.D. Choe, J. Kim, C.O. Griffiths. J. Appl. Phys., 75, 5040 (1994)
  • M. Zachau, W.T. Masselink. Appl. Phys. Lett., 60, 2098 (1992)
  • A.V. Kudrin, S.M. Plankina, O.V. Vikhrova, A.V. Nezhdanov, A.I. Mashin, Yu.N. Drozdov, A.V. Shvetsov. Micron, 93, 38 (2017)
  • Б.Н. Звонков, О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, Ю.Н. Дроздов, М.Н. Дроздов, И.Л. Калентьева, А.В. Кудрин. ФТП, 46, 1527 (2012)
  • А.М. Минтаиров, Б.Н. Звонков, Т.С. Бабушкина, И.Г. Малкина, Ю.Н. Сафьянов. ФТТ, 37 (12), 3607 (1995).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.