"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Бесконтактная характеризация дельта-слоев марганца и углерода в арсениде галлия
Министерство образования и науки России, Госзадание, проектная часть, 8.1751.2017/ПЧ
Министерство образования и науки России, Госзадание, проектная часть, 16.1750.2017/4.6
Грант президента РФ на поддержку молодых российских ученых и ведущих научных школ, молодые кандидаты наук, МК 8221.2016.2
Комков О.С. 1, Кудрин А.В.2
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: okomkov@yahoo.com
Поступила в редакцию: 27 апреля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.

Метод спектроскопии фотоотражения применен для диагностики одиночных дельта-слоев марганца и углерода в нелегированном GaAs. Показано, что определяемая этим методом напряженность встроенных электрических полей растет с увеличением слоевой концентрации введенных примесей и хорошо коррелирует с технологическими данными и результатами, полученными методом Холла. Фазочувствительное фотоотражение позволило независимо измерить приповерхностное поле и поле, обусловленное дельта-легированием. Это дает возможность бесконтактно определять долю электрически активной примеси Mn и выявлять вклад delta-слоев углерода в гетеросистемы на основе GaAs. DOI: 10.21883/FTP.2017.11.45093.07
  • E.F. Schubert, J.E. Cunningham, W.T. Tsang. Sol. St. Commun., 63 (7), 591 (1987)
  • О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, М.В. Дорохин, Б.Н. Звонков, И.Л. Калентьева, А.В. Кудрин. Письма ЖТФ, 35 (14), 8 (2009)
  • А.В. Кудрин, О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов. Письма ЖТФ, 36 (11), 46 (2010)
  • С.В. Зайцев, М.В. Дорохин, А.С. Бричкин, О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, Б.Н. Звонков, В.Д. Кулаковский. Письма ЖЭТФ, 90 (10), 730 (2009)
  • M.A.G. Balanta, M.J.S.P. Brasil, F. Iikawa, U.C. Mendes, J.A. Brum, Yu.A. Danilov, M.V. Dorokhin, O.V. Vikhrova, B.N. Zvonkov. Sci. Rep., 6, 24537 (2016)
  • A.A. Bernussi, F. Iikawa, P. Motisuke, P. Basmaji, M. Siu Li, O. Hipolito. J. Appl. Phys., 67, 4149 (1990)
  • D.G. Liu, K.H. Chang, N.H. Lu, T.M. Hsu, Y.C. Tien. J. Appl. Phys., 72 (4), 1468 (1992)
  • T.M. Hsu, Y.C. Tien, N.H. Lu. J. Appl. Phys., 72 (3), 1065 (1992)
  • V.L. Alperovich, A.S. Yaroshevich, H.E. Scheibler, A.S. Terekhov. Phys. Status Solidi B, 175, K35 (1993)
  • D. Birkedal, O. Hansen, C.B. Sorensen, K. Jarasiunas, S.D. Brorson, S.R. Keiding. Appl. Phys. Lett., 65 (1), 79 (1994)
  • D. Seliuta, B. Chechavius, J. Kavaliauskas, G. Krivaite, I. Grigelionis, S. Balakauskas, G. Valusis, B. Sherliker, M.P. Halsall, M. Lachab, S.P. Khanna, P. Harrison, E.H. Linfield. Acta Phys. Polon. A, 113 (3), 909 (2008)
  • Л.П. Авакянц, П.Ю. Боков, И.В. Бугаков, Т.П. Колмакова, А.В. Червяков. Неорг. матер., 47 (5), 517 (2011)
  • О.С. Комков, Р.В. Докичев, А.В. Кудрин, Ю.А. Данилов. Письма ЖТФ, 39 (22), 56 (2013)
  • V.L. Alperovich, A.S. Yaroshevich, H.E. Scheibler, A.S. Terekhov. Sol. St. Еlесtron., 37 (4-6), 657 (1994)
  • А.В. Ганжа, В. Кирхер, Р.В. Кузьменко, Й. Шрайбер, Ш. Хидьдебрандт. ФТП, 32 (3), 272 (1998)
  • Р.В. Кузьменко, Э.П. Домашевская. ФТП, 36 (3), 278 (2002)
  • I.D. Tyurin, O.S. Komkov. Proc. 2016 IEEE North West Russia Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conf. (2016 EIConRusNW): (St.Petersburg, Russia, 2016) p. 97
  • Б.Н. Звонков, О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, Е.С. Демидов, П.Б. Демина, М.В. Дорохин, Ю.Н. Дроздов, В.В. Подольский, М.В. Сапожников. Оптический журн., 75 (6), 56 (2008)
  • Yu.A. Danilov, M.N. Drozdov, Yu.N. Drozdov, A.V. Kudrin, O.V. Vikhrova, B.N. Zvonkov, I.L. Kalentieva, V.S. Dunaev. J. Spintronics and Magnetic Nanomaterials, 1 (1), 82 (2012)
  • A.M. Nazmul, S. Sugahara, M. Tanaka. J. Cryst. Growth, 251, 303 (2003)
  • W.E. Spicer. J. Vac. Sci. Techn., 17, 1019 (1980)
  • О.С. Комков, А.Н. Пихтин, Ю.В. Жиляев. Изв. вузов. Мат. эл. техн., 1, 45 (2011)
  • А.Н. Пихтин, О.С. Комков, К.В. Базаров. ФТП, 40 (5), 608 (2006)
  • О.С. Комков, А.Н. Пихтин, Ю.В. Жиляев, Л.М. Федоров. Письма ЖТФ, 34 (1), 81 (2008)
  • O.S. Komkov, G.F. Glinskii, A.N. Pikhtin, Y.K. Ramgolam. Phys. Status Solidi A, 206 (5), 842 (2009)
  • J.S. Blakemore, W.J. Brown, M.L. Stass, D.A. Woodbury. J. Appl. Phys., 44, 3352 (1973)
  • M. Ilegems, R. Dingle, L.W. Rupp. J. Appl. Phys., 46, 3059 (1975)
  • Г.Э. Шайблер. Автореф. канд. дис. (Новосибирск, Ин-т. физики полупроводников СО РАН, 2001)
  • D.A. Woodbury, J.S. Blakemore. Phys. Rev. B, 8, 3803 (1973)
  • H. Fritzsche. Phys. Rev., 99, 406 (1955)
  • M. Dobrowolska, K. Tivakornsasithorn, X. Liu, J.K. Furdyna, M. Berciu, K.M. Yu, W. Walukiewic. Nature Materials, 11, 444 (2012)
  • M. Wang, K.W. Edmonds, B.L. Gallagher, A.W. Rushforth, O. Makarovsky, A. Patane, R.P. Campion, C.T. Foxon, V. Novak, T. Jungwirth. Phys. Rev. B, 87, 121301 (2013)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.