"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Взаимодиффузия и фазообразование в тонкопленочной системе Fe-TiO2
Афонин Н.Н. 1,2, Логачева В.А. 1,2
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный педагогический университет, Воронеж, Россия
Email: nafonin@vspu.ac.ru, ksmf@main.vsu.ru
Поступила в редакцию: 30 января 2017 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2017 г.

Методами рентгенофазового анализа, вторично-ионной масс-спектрометрии, атомно-силовой микроскопии и математического моделирования исследовано взаимодействие магнетронным способом распыленного металлического железа с пленками оксида титана в процессе изотермического вакуумного отжига. Предложен механизм формирования сложных оксидов на границах зерен, основанный на реакционной диффузии металла Fe в оксид титана. Разработана количественная модель реакционной взаимодиффузии в двухслойных поликристаллических пленочных системах металл-оксид с ограниченной растворимостью компонентов. Численным анализом экспериментальных концентрационных распределений металлов в пленочной системе Fe-TiO2 определены значения индивидуальных коэффициентов диффузии: железа 8.0·10-13 см2/с и титана 3.0·10-15 см2/с в условиях вакуумного отжига при 1073 K. DOI: 10.21883/FTP.2017.10.45012.8531
  • J.O. Carneiro, V. Teixeira, A. Portinha, A. Magalhaes, P. Countinho, C.J. Tavares. Mater. Sci. Eng. B, 138 (2), 144 (2007)
  • Meng Ni, Michael K.H. Leung, Dennis Y.C. Leung. K. Sumathy. Renew. Sustainable Energy Rev., 11 (3), 401 (2007)
  • K. Zakrzewska, M. Radeska, M. Rekas. Thin Sol. Films, 310, 161 (1997)
  • N.I. Al-Salim, S.A. Bagshaw, A. Bittar, T. Kemmitt, A.J. McQuillan, A.M. Mills, M.J. Ryan. J. Mater. Chem., 10, 2358 (2000)
  • S. Sooda, A. Umarb, S.K. Mehtaa, S.K. Kansald. J. Colloid Interface Sci., 450, 213 (2015)
  • P. Jianga, W. Xianga, J. Kuanga, W. Liu, W. Cao. Solid State Sci., 46, 27 (2015)
  • Hsin-yu Lin, Cheng-yao Shih. J. Mol. Catal. A: Chem., 411, 128, (2016)
  • F.B. Lia, X.Z. Lia, M.F. Houb. Appl. Catal. B, 48 (3), 185 (2004)
  • H. Eskandarloo, A. Badiei, M.A. Behnajady, G.M. Ziarani. Ultrason. Sonochem., 26, 281 (2015)
  • I. Ganesh, P.P. Kumar, A.K. Gupta, P.S.C. Sekhar, K. Radha, G. Padmanabham, G. Sundararajan. Proc. Appl. Ceramics, 6, 21 (2012)
  • R.A. Briggs, A. Sacco. Metall. Trans. A, 24 (6), 1257 (1993)
  • M. Crisana, N. Dragana, D. Crisana, A. Ianculescub, I. Nitoic, P. Oancead, L. Todana, C. Stana, N. Stanicaa. Ceram. Int., 42 (2), 3088 (2016)
  • Huey-Jiuan Lina, Tien-Syh Yanga, Chi-Shiung Hsia, Moo-Chin Wangb, Kuen-Chan Leeb. Ceram. Int., 40 (7), 10633 (2014)
  • A. Sobczyk-Guzendaa, S. Owczareka, H. Szymanowskia, L. Voleskyb, B. Walkowiaka, S. Miszczaka, M. Gazicki-Lipmana. Ceram. Int., 41 (6), 7496 (2015)
  • R. Dholam, N. Patel, M. Adami, A. Miotello. Int. J. Hydrogen Energy, 34 (13), 5337 (2009)
  • C. Silvaa, A.R.G. Costaa, R.C. da Silvac, L.C. Alvesd, L.P. Ferreiraa, M.D. Carvalhof, N. Francoc, M. Godinhoa, M.M. Cruza. J. Magn. Magn. Mater., 364, 106 (2014)
  • В.С. Русаков, И.А. Сухоруков, А.М. Жанкадамова, К.К. Кадыржанов. Вестн. МГУ. Сер. 3, Физика, астрономия, 3, 25 (2012)
  • JCPDS --- International Centre for Diffraction Data, 2012
  • D. Cordischi, N. Burriesci, F. D'Alba, M. Petrera, G. Polizzoti, M. Schiavello. J. Solid State Chem., 56, 182 (1985)
  • A.D. Smigelskas, E.O. Kirkendall. Trans. AIME, 171, 130 (1947)
  • L.S. Darken. Trans. AMIE, 175, 184 (1948)
  • К.П. Гуров, Б.А. Карташкин, Ю.Э. Угасте. Взаимная диффузия в многофазных металлических системах (М., Наука, 1981)
  • N.S. Kulkarni, R.J. Bruce Warmack, B. Radhakrishnan, J.L. Hunter, Y. Sohn, K.R. Coffey, G.E. Murch, I.V. Belova. J. Phase Equilib. Diffusion, 35 (6), 762 (2014)
  • О.В. Александров, В.В. Козловский. ФТП, 43 ,(7), 917 (2009)
  • А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1977)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.