"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние температуры измерения на люминесцентные свойства (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода
Соболев Н.А.1, Калядин А.Е.1, Шек Е.И.1, Штельмах К.Ф.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 21 августа 2017 г.

Исследовано влияние температуры измерения в диапазоне 5-130 K на спектры ФЛ (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода с энергией 350 кэВ и дозой 3.7·1014 см-2 и отожженном при 700oC в течение 1 ч в хлорсодержащей атмосфере. Температурная зависимость интенсивности линии характеризуется участками возгорания интенсивности с энергией 23.1 мэВ и гашения интенсивности с энергиями 41.9 и 178.3 мэВ. С ростом температуры линии сдвигаются в длинноволновую сторону, а их полуширина увеличивается. DOI: 10.21883/FTP.2017.09.44880.8561
  • S. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys., 30, L639 (1991)
  • S. Coffa, S. Libertino, C. Spinella. Appl. Phys. Lett., 76, 321 (2000)
  • P.K. Giri. Semicond. Sci. Technol., 20, 638 (2005)
  • Yang Yu, Wang Chong, Yang Rui-Dong, Li Liang, Xiong Fei, Bao Ji-Ming. Chinese Phys. B, 18, 4906 (2009)
  • Yu Yang, Jiming Bao, Chong Wang, Michael J. Aziz. J. Appl. Phys., 107, 123109 (2010)
  • Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, К.В. Карабешкин. ФТТ, 58, 2411 (2016)
  • J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instrum. Meth. B, 268, 1818 (2010)
  • G. Davies. Phys. Reports, 176, 83 (1989)
  • R. Braunstein, A.R. Moor, F. Herman. Phys. Rev., 109, 695 (1958)
  • Н.А. Соболев. ФТП, 44, 3 (2010)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.