"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние постоянного магнитного поля на формирование силицидных фаз в структуре Cu/Si(100) при изотермическом отжиге
Бучин Э.Ю. 1, Наумов В.В. 1, Васильев С.В. 1
1Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: imi.buchin@rambler.ru, vvnau@rambler.ru, vasilevsvhep@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 июля 2016 г.
Выставление онлайн: 21 мая 2017 г.

Экспериментально показано, что процесс твердофазного синтеза силицида меди является магниточувствительным. При низкотемпературном вакуумном отжиге тонкопленочной структуры Cu/Si(100) постоянное магнитное поле умеренной напряженности стимулирует образование твердого раствора кремния в меди и подавляет синтез фазы Cu3Si. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44566.8379
  • H. Schmalzried. Chemical Kinetics of Solids (Weinheim, VCH, 1995)
  • S.B. Lee, D.K. Choi, F. Phillipp, K.S. Jeon, C.K. Kim. Appl. Phys. Lett., 88, 083117 (2006)
  • M. Au, Y. He, Y. Zhao, H. Ghassemi, R.S. Yassar, B. Garcia-Diaz, T. Adams. J. Power Sources, 196, 9640 (2011)
  • Binary alloys phase diagrams, ed by T.B. Massalski (ASM International, Materials Park, OH, ASM International 1992)
  • Y.C. Her, C.W. Chen, C.L. Wu. J. Appl. Phys., 99, 113512 (2006)
  • P.W. Selwood. Magnetochemistry, 2nd edn. (Intersci. Publishers, N. Y., 1956)
  • Ю.В. Ракитин, В.Т. Калинников. Современная магнетохимия (СПб., Наука, 1994)
  • М.И. Молоцкий. ФТТ, 33 (10), 3112 (1991)
  • В.И. Альшиц, Е.В. Даринская, Е.А. Петржик. ФТТ, 33 (10), 3001 (1991)
  • M.I. Molotskii, R.E. Kris, V.N. Fleurov. Phys. Rev. B, 51, 12531 (1995)
  • В.В. Наумов, С.В. Васильев, Р.В. Селюков. Вест. ЯрГУ, сер. Естественные и технические науки, N 2, 22 (2015)
  • B. Parditka, M. Verezhak, Z. Balogh, A. Csik et al. Acta Materialia, 61, 7173 (2013)
  • А.В. Панин, А.Р. Шугуров, И.В. Ивонин, Е.В. Шестериков. ФТП, 44 (1), 118 (2010)
  • Физические величины. Справочник, под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова (М., Энергоатомиздат, 1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.