"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование пространственного распределения фототока в плоскости Si-p-n-фотодиода с наноостровками GeSi методом сканирующей ближнепольной оптической микроскопии
Филатов Д.О.1, Казанцева И.А.1, Шенгуров В.Г.1, Чалков В.Ю.1, Денисов С.А.1, Горшков А.П.1, Мишкин В.П.2
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарева, Саранск, Россия
Email: Dmitry_filatov@inbox.ru
Поступила в редакцию: 4 октября 2016 г.
Выставление онлайн: 21 марта 2017 г.

Методом сканирующей ближнепольной оптической микроскопии исследовано пространственное распределение фототока в плоскости p+-n-перехода на базе Si cо встроенными самоформирующимися наноостровками GexSi1-x (x~0.35) при локальном фотовозбуждении зондом микроскопа на длине волны излучения 1310 нм, большей красной границы собственной фоточувствительности Si. На изображениях фототока (картах пространственного распределения фототока в плоскости фотоприемного окна p+-n-фотодиода) обнаружены неоднородности, связанные с межзонным оптическим поглощением в наноостровках GeSi. Результаты работы показывают возможность визуализации индивидуальных наноостровков GeSi на изображениях фототока с пространственным разрешением ~100 нм. DOI: 10.21883/FTP.2017.04.44353.8420
  • Nano-Optics and Near-Field Optical Microscopy, ed. by A.V. Zayats, D. Richards (Artech House, 2008)
  • М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (М., Наука, 1973) с. 439
  • M.A. Paesler, P.J. Moyer. Near-Field Optics: Theory, Instrumentation, and Applications (Wiley Interscience, 1996) p. 7
  • A. Cricenti, R. Generosi, C. Barchesi, M. Luce, M. Rinaldi. Rev. Sci. Instrum., 69, 3240 (1998)
  • N.H. Lu, Din Ping Tsai, C.S. Chang, T.T. Tsong. Appl. Phys. Lett., 74, 2746 (1999)
  • T. Guenther, V. Malyarchuk, J.W. Tomm, R. Muller, C. Lienau, J. Luft. Appl. Phys. Lett., 78, 1463 (2001)
  • M.K. Herndon, W.C. Bradford, R.T. Collins, B.E. Hawkins, T.F. Kuech, D.J. Friedman, S.R. Kurtz. Appl. Phys. Lett., 77, 100 (2000)
  • Y. Harada, K. Imura, H. Okamoto, Y. Nishijima, K. Ueno, H. Misawa. J. Appl. Phys., 110, 104306 (2011)
  • В.Г. Шенгуров, В.Ю. Чалков, С.А. Денисов, С.П. Светлов, Д.В. Шенгуров. Вакуумная техника и технология, 21, 45 (2011)
  • О.П. Пчеляков, Ю.Б. Болховитянов, А.В. Двуреченский, Л.В. Соколов, А.И. Никифоров, А.И. Якимов, Б. Фойхтлендер. ФТП, 34, 1281 (2000)
  • Д.О. Филатов, М.В. Круглова, М.А. Исаков, С.В. Сипрова, M.О. Марычев, В.Г. Шенгуров, С.П. Светлов, В.Ю. Чалков, С.А. Денисов. Изв. РАН. Сер. физ., 72, 267 (2008)
  • А.И. Машин, А.В. Нежданов, Д.О. Филатов, М.А. Исаков, В.Г. Шенгуров, В.Ю. Чалков, С.А. Денисов. ФТП, 44, 1552 (2010)
  • X.Z. Liao, J. Zou, D.J.H. Cockayne, J. Qin, Z.M. Jiang, X. Wang, R. Leon. Phys. Rev. B, 60, 15605 (1999)
  • Д.О. Филатов, М.В. Круглова, М.А. Исаков, С.В. Сипрова, M.О. Марычев, В.Г. Шенгуров, В.Ю. Чалков, С.А. Денисов. ФТП, 42, 1116 (2008)
  • D.O. Filatov, M.A. Isakov, V.G. Shengurov, M.O. Marychev, A.V. Nezhdanov, A.I. Mashin. In: Photoluminescence: Applications, Types and Efficacy (Nova Science, 2012) p. 1
  • В.Я. Алешкин, Н.А. Бекин. ФТП, 31, 171 (1997)
  • В.Я. Алешкин, Е.В. Демидов, Б.Н. Звонков, А.В. Мурель, Ю.А. Романов. ФТП, 25, 1047 (1991)
  • J. Humlicek, M. Garriga, M.I. Alonso, M. Cardona. J. Appl. Phys., 65, 2827 (1989)
  • Д.О. Филатов, А.П. Горшков, Н.С. Волкова, Д.В. Гусейнов, Н.А. Алябина, М.М. Иванова, В.Ю. Чалков, С.А. Денисов, В.Г. Шенгуров. ФТП, 49, 399 (2015)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.