"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Модуляционно-поляризационная диагностика термонапряжений в интегральном преобразователе давления
Михайленко И.В.1, Орлов А.Т.2, Сердега Б.К.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Национальный технический университет Украины "Киевский политехнический институт", Киев, Украина
Email: bserdega@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 6 сентября 2016 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2017 г.

В полупроводниковом преобразователе давления, состоящем из сенсорного резистора, имплантированного в кремниевую мембрану, как упругий элемент механики, техникой модуляционной поляриметрии детектированы внутренние механические напряжения. Координатные распределения одноосных напряжений измерены в двух случаях --- напряжения, остаточные от локальных неоднородностей легирования кристалла, и напряжения, обусловленные разогревом от протекающего тока. Координатное распределение температуры от теплового потока, выделяемого током в резисторе, получено двойным интегрированием функции напряжения с учетом соответствующих граничных условий. DOI: 10.21883/FTP.2017.04.44346.8311
  • W. Erler, L. Walter. Elektrischen messen nichtelektrischen grob en mit halbleiterwiderstanden (Verlag Technik, Berlin, 1973)
  • В.М. Стучебников. Измерения, контроль, автоматизация, N 1 (45), 30 (1983)
  • И.П. Жадько, В.А. Романов, Б.К. Сердега. ПТЭ, N 5, 215 (1972) [А.с. N 401291, Бюл. изобретат., N 29 (1977)]
  • П.П. Поливанов. Изв. вузов. Радиоэлектроника, 24 (12), 93 (1978)
  • R. Allan. Electronics, 53 (24), 113 (1980)
  • В.И. Ваганов, Н.И. Гончарова. Изв. вузов. Электроника, N 1, 85 (1980)
  • L.B. Wilner. ISA Trans., 17 (1), 83 (1978)
  • Г.С. Ландсберг. Оптика (М., ГИТТЛ, 1957)
  • Б.К. Сердега. Патент N 19983А (Украина). Опубл. 01.07.1994, Бюл. N 6
  • A. Gerrard, J.M. Burch. Introduction to matrix methods in optics (London, 1975)
  • B.K. Serdega, Ye.F. Venger, Ye.V. Nikitenko. Semicond. Phys. Quant. Electron. Optoelectron., 2 (2), 153 (1999)
  • А.Д. Коваленко. Основы термоупругости (Киев, Наук. думка, 1970)
  • И.Е. Матяш, И.Е. Минайлова, О.Н. Мищук, Б.К. Сердега. ФТТ, 55 (5), 1003 (2013).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.