"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние поверхностной модификации катализаторами на газовую чувствительность пленок SnO2+3% SiO2
Рембеза С.И.1, Рембеза Е.С.1, Свистова Т.В.1, Кошелева Н.Н.1, Аль Тамееми В.М.К.2
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Daila University, Daila, Republic Iraq
Поступила в редакцию: 15 января 2015 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.

Тонкие пленки SnO2+3% SiO2 (250 нм), изготовленные методом магнетpонного распыления в контролируемой атмосфере Ar+O2, использованы в качестве сенсорных элементов в датчике газов, изоготовленном по микроэлектронной технологии. Датчик содержит два чувствительных элемента, один из которых использовался как контрольный, а на поверхность второго наносился водный раствор (3, 6, 9, 12 ммоль) нитрата серебра Ag(NO3) или хлорида палладия PdCl2. Установлено, что поверхностная модификация катализаторами снижает температуру максимальной газовой чувствительности SnO2+3% SiO2 на 100-200oC, а в некоторых случаях также и увеличивает величину максимальной газовой чувствительности в несколько раз.
  • Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, Т.А. Горстка. ФТП, 49 (3), 406 (2015)
  • М. Мейтин. Электроника: наука, технология, бизнес, 6, 40 (2000)
  • D. Hong, G. Yerubandi, H.Q. Chiang. Critical Reviews Solid State and Mater. Sci., 33 (2), 101 (2008)
  • R.E. Presley, C.L. Munsee, C.-H. Park . J. Phys. D: Appl. Phys., 37, 2810 (2004)
  • В.В. Кисин, В.В. Симаков, А.С. Ворошилов. Приборы и техника эксперимента, N 1, 158 (2009)
  • В.В. Томаев, Л.Н. Гарькин, В.П. Мирошкин. Физика и химия стекла, 31 (2), 331 (2005)
  • Ф.Ф. Волькенштейн. Физикохимия поверхности полупроводников (М., Наука, 1973)
  • Г. Виглеб. Датчики: устройство и применение (М., Мир, 1989)
  • A. Lewandowska, I. Kocemba, J. Rynkowski. Polish J. Environ. Stud., 17 (3), 433 (2008)
  • С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, О.И. Борсякова. Сенсор, 2, 37 (2001)
  • С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, Е.С. Рембеза, Г.В. Горлова. Электротехника, 10, 10 (2004)
  • Е.С. Рембеза, С.И. Рембеза, Е.А. Ермолина, М.В. Гречкина. Нано- и микросистемная техника, 6, 19 (2008)
  • С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, Н.Н. Кошелева, Е.С. Рембеза, Ю.В. Шматова. ФТП, 46 (9), 1213 (2012)
  • Е.Ю. Севастьянов, Н.К. Максимова, В.А. Новиков. ФТП, 46 (6), 820 (2012)
  • С.И. Рембеза, Н.Н. Кошелева, Е.С. Рембеза, В.А. Буслов. Нано- и микросистемная техника, 12, 17 (2010)
  • В.В. Петров, А.Н. Королев. Наноразмерные оксидные материалы для сенсоров газов (Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2008)
  • С.И. Рембеза, Д.Б. Просвирин, О.Г. Викин. Сенсор, 1, 20 (2004)
  • И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов, С.А. Завьялов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991)
  • В.В. Петров, Т.Н. Назарова, А.Н. Королев. Изв. Южного федерального ун-та. Технические науки, 9 (53), 158 (2005)
  • M.S. Tong, G.R. Dai, D.S. Gao. Vacuum, 59, 877 (2000)
  • S. Matsushima, Y. Teraoka, N. Yamazoe. Jpn. J. Appl. Phys., 27 (3), 1798 (1988)
  • С.С. Карпова, В.А. Мошников, С.В. Мякин, Н.Е. Казанцева. ФТП, 47 (8), 1022 (2013)
  • В.Б. Лазарев, В.Г. Краснов, И.И. Шаплыгин. Электропроводность окисных систем и пленочных структур (М., Наука, 1979)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.