"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование корреляционных параметров структуры поверхности неупорядоченных полупроводников с помощью методов двумерного DFA и средней взаимной информации
Алпатов А.В.1, Вихров С.П.1, Рыбина Н.В.1
1Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия
Поступила в редакцию: 1 сентября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

Исследованы процессы самоорганизации структуры поверхности аморфного гидрогенизированного кремния с помощью методов флуктуационного анализа и средней взаимной информации по изображениям поверхности, полученным атомно-силовой микроскопией. Выявлено, что все структуры имеют корреляционный вектор и представляют собой гармонические составляющие с наложением шума. Показано, что с изменением технологических параметров получения пленок a-Si : H меняются корреляционные свойства их структуры. При увеличении температуры подложки уменьшается образование структурных неоднородностей, при этом увеличивается длина корреляционного вектора и повышается упорядоченность структуры. Показано, что методика, основанная на методе флуктуационного анализа, в сочетании с методом средней взаимной информации позволяет исследовать процессы самоорганизации в любых структурах на разных масштабах.
  • В.А. Карасев, В.В. Лучинин. Введение в конструирование бионических наносистем (М., Физматлит, 2011)
  • А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина. ФТП, 47 (3), 340 (2013)
  • А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина, С.М. Мурсалов. Вестн. РГРТУ, 4 (42), ч. 2, 12 (2012)
  • Т.Г. Авачева, Н.В. Бодягин, С.П. Вихров, С.М. Мурсалов. ФТП, 42 (5), 513 (2008)
  • F. Takens. Lectures notes in mathematics (N.Y., Spкinger-Verlag, 1981)
  • Н.В. Бодягин, С.П. Вихров, Т.Г. Ларина, С.М. Мурсалов, В.Н. Тимофеев. Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники (Рязань, Рязан. гос. радиотехн. акад., 2004)
  • А.А. Айвазов, Б.Г. Будагян, С.П. Вихров, А.И. Попов. Неупорядоченные полупроводники (М., МЭИ, 1995).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.