"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Тонкая структура спектров сечения неупругого рассеяния электронов и поверхностный параметр Si
Паршин А.С.1, Игуменов А.Ю.1, Михлин Ю.Л.2, Пчеляков О.П.3, Никифоров А.И.3, Тимофеев В.А.3
1Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М.Ф. Решетнева, Красноярск, Россия
2Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
3Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 4 августа 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

Спектры потерь энергии отраженных электронов получены для серии образцов Si, приготовленных при различных технологических условиях, имеющих разную кристаллографическую ориентацию. Из этих экспериментальных спектров вычислены зависимости произведения средней длины неупругого пробега и дифференциального сечения неупругого рассеяния электронов от потерь энергии электронов. Предложен метод анализа спектров сечения неупругого рассеяния электронов посредством моделирования экспериментальных спектров с помощью трехпараметрических универсальных функций сечения Тоугаарда. Результаты моделирования применены для определения природы пиков потерь и расчета поверхностного параметра.
  • А.С. Паршин, Г.А. Александрова, А.Е. Долбак, О.П. Пчеляков, Б.З. Ольшанецкий, С.Г. Овчинников, С.А. Кущенков. Письма ЖТФ, 34, 41 (2008)
  • А.С. Паршин, О.П. Пчеляков, А.Е. Долбак, Б.З. Ольшанецкий. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 6, 5 (2013)
  • A.C. Паршин, Е.П. Пьяновская, О.П. Пчеляков, Ю.Л. Михлин, А.И. Никифоров, B.A. Тимофеев, М.Ю. Есин. ФТП, 48, 41 (2014)
  • А.С. Паршин, С.А. Кущенков, Г.А. Александрова, С.Г. Овчинников. ЖТФ, 81, 69 (2011)
  • А.С. Паршин, С.А. Кущенков, О.П. Пчеляков, Ю.Л. Михлин, Т. Хасанов. Автометрия, 48, 88 (2012)
  • S. Tougaard. Surf. Interface Analysis, 25, 137 (1997)
  • S. Tougaard. http:// www.quases.com
  • S. Tougaard, I. Chorkendorff. Phys. Rev. B, 35, 6570 (1987)
  • S. Tougaard. Surf. Interface Analysis, 11, 453 (1988)
  • G. Gergely. Progr. in Surf. Sci., 71, 31 (2002)
  • G.T. Orosz, G. Gergely, S. Gurban, M. Menyhard, J. Toth, D. Varga, S. Tougaard. Vacuum, 71, 147 (2003)
  • В.Г. Лифшиц, Ю.В. Луняков. Спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии (Владивосток, Дальнаука, 2004) с. 36
  • W.S.M. Werner, H. Tratnik, J. Brenner, H. Stori. Surf. Sci., 495, 107 (2001)
  • W.S.M. Werner, L.Kover, S.Egri, J. Toth, D. Varga. Surf. Sci., 585, 85 (2005)
  • G. Gergely, M. Menyhard, S. Gurban, A. Sulyok, J. Toth, D. Varga, S. Tougaard. Sol. St. Ionics, 141-142, 47 (2001)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.