Исследование кристаллической структуры наноостровков кремния на сапфире
Кривулин Н.О.1, Пирогов А.В.1, Павлов Д.А.1, Бобров А.И.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 23 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.
В работе представлены результаты исследований кристаллической структуры наноразмерных островков кремния на сапфире. Показано, что основными дефектами в наноостровках кремния на сапфире являются дефекты двойникования. В результате формирования таких дефектов в островках кремния на сапфире формируются различные кристаллографические ориентации. На начальных стадиях молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на сапфире присутствуют две основные ориентации - (001) параллельно поверхности и (001) под углом 70o к поверхности.
- L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57 (10), 1046 (1990)
- Д.А. Павлов, Е.В. Коротков, П.А. Шиляев, Н.О. Кривулин. Письма ЖТФ, 36 (12), 16 (2010)
- Н.О. Кривулин, Д.А. Павлов, П.А. Шиляев. ФТП, 47 (12), 1621 (2013)
- A. Portavoce, K. Hoummada, I. Berbezier, A. Ronda, D. Mangelinck. Appl. Phys. Lett., 100, 164 105 (2012)
- A.I. Nikiforov, V.A. Timofeev, S.A. Teys, A.K. Gutakovsky, O.P. Pchelyakov. Thin Sol. Films, 520, 3319 (2012)
- Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Н.О. Кривулин и др. Вестник ННГУ им. Н.И. Лобачевского. Физика твердого тела, N 4 (1), 38 (2013)
- П.Д. Браун, Ю.Ю. Логинов, У.М. Стоббс, К. Дж. Хамфрейс. ФТТ, 38 (1), 284 (1996)
- M.S. Abrahams, V.L. Hutchison, G.R. Booker. Phys. Status Solidi A, 63 (1), K3 (1981)
- M.E. Twig, E.D. Richmond, J.G. Pellegrino. Appl. Phys. Lett., 54 (18), 1766 (1989)
- С.А. Денисов, С.П. Светлов, В.Ю. Чалков и др. Вестник ННГУ им. Н.И. Лобачевского. Физика твердого тела, 1 (9), 185 (2006)
- M.J. Hytch, E. Snoeck, R. Kitaas. Ultramicroscopy, 74, 131 (1998)
- M. Takeda, J. Suzuki. J. Opt. Soc. Am. A, 13, 1495 (1996)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.