"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени
Достанко А.П.1, Агеев О.А.2, Голосов Д.А.1, Завадский С.М.1, Замбург Е.Г.2, Вакулов Д.Е.2, Вакулов З.Е.2
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
2Южный федеральный университет, Таганрог, Россия
Поступила в редакцию: 25 ноября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.

Проведены исследования влияния параметров процесса нанесения на стехиометрический состав, электрофизические и оптические свойства пленок оксида цинка, получаемых методом ионно-лучевого распыления ZnO-мишени. Установлено, что при распылении ZnO-мишени стехиометрического состава в нанесенных пленках наблюдается недостаток кислорода. Даже при распылении мишени в среде чистого O2 стехиометрический индекс нанесенных пленок не превышал 0.98. Уменьшение содержания кислорода в нанесенных пленках сопровождалось резким уменьшением удельного сопротивления до 35 - 40 Ом · м, уменьшением оптической ширины запрещенной зоны и сдвигом края оптического пропускания с 389 до 404 нм. Все изменения оптических и электрических свойств пленок ZnO можно объяснить изменением концентрации и подвижности свободных носителей в пленке.
  1. C.G. Granqvist. Solar Energy Mater. Solar Cells, 91, 1529 (2007)
  2. K. Ellmer, A. Klein, B. Rech. Transparent conductive zinc oxide: Basics and applications in thin film solar cells (Springer, 2008)
  3. M.K. Jayaraj, A. Antony, M. Ramachandran. Bull. Mater. Sci., 25 (3), 227 (2002)
  4. M. Kon, P.K. Keun, Y. Shigesato, P. Frash, M. Akio, K. Susuki. Jpn. J. Appl. Phys., 41, 6174 (2002)
  5. А.Ф. Белянин, Н.В. Суетин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев, Д.В. Лопаев, В.Г. Пирогов, С.И. Поляков, Н.И. Сушенцов, Л.В. Павлушкин, В.А. Кривченко. Системы и средства связи, телевидения и радиовещания, N 1--2, 76 (2006)
  6. D.-S. Liu, C.-Y. Wu, C.-S. Sheu, F.-C. Txai, C.H. Li. Jpn. J. Appl. Phys., 45, 3531 (2006)
  7. В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, А.Т. Рахимов, Н.В. Суетин, А.С. Трифонов. ЖТФ, 28 (8), 107 (2008)
  8. А.Н. Грузинцев, В.Т. Волков, К. Бартхоу, П. Бенаул. ФТП, 36 (6), 741 (2002)
  9. А.Н. Грузинцев, В.Т. Волков, Е.Е. Якимов. ФТП, 37 (3), 275 (2003)
  10. N.L. Hung. J. Korean Phys. Soc., 57 (6), 1784 (2010)
  11. W.L. Dang, Y.Q. Fu, J.K. Luo, A.J. Flewitt, W.I. Milne. Superlatt. Microstruct., 42, 89 (2007)
  12. В.А. Александров, А.Г. Веселов, О.А. Кирясова, А.А. Сердобинцев. Письма ЖТФ, 38 (18), 496 (2012)
  13. S. Youssef, P. Combette, J. Podlecki, R. Al Asmar, A. Foucaran. Cryst. Growth Des., 9 (2), 1088 (2009)
  14. T. Minami, T. Miyata, T. Yamamoto, H. Toda. J. Vac. Sci. Technol., 18, 1584 (2000)
  15. Zhu Chang, Mi Gaoyuan, A.P. Dostanko, D.A. Golosov, S.M. Zavatskiy. J. Appl. Optics, 31 (5), 855 (2010)
  16. Д.А. Голосов, С.М. Завадский, И.В. Свадковский, С.Н. Мельников. Вакуумная техника и технология, 20 (4), 227 (2010)
  17. T.K. Subramanyam, B. Srinivasulu Naidu, S. Uthanna. Cryst. Res. Technol., 35 (10), 1193 (2000)
  18. С.И. Садовников, Н.С. Кожевникова, А.А. Ремпель. ФТП, 44 (10), 1394 (2010)
  19. A.P. Roth, B.W. James, D.F. Williams. Phys. Rev. B, 25 (12), 7836 (1982)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.