"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени
Достанко А.П.1, Агеев О.А.2, Голосов Д.А.1, Завадский С.М.1, Замбург Е.Г.2, Вакулов Д.Е.2, Вакулов З.Е.2
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
2Южный федеральный университет, Таганрог, Россия
Поступила в редакцию: 25 ноября 2013 г.
Выставление онлайн: 21 августа 2014 г.

Проведены исследования влияния параметров процесса нанесения на стехиометрический состав, электрофизические и оптические свойства пленок оксида цинка, получаемых методом ионно-лучевого распыления ZnO-мишени. Установлено, что при распылении ZnO-мишени стехиометрического состава в нанесенных пленках наблюдается недостаток кислорода. Даже при распылении мишени в среде чистого O2 стехиометрический индекс нанесенных пленок не превышал 0.98. Уменьшение содержания кислорода в нанесенных пленках сопровождалось резким уменьшением удельного сопротивления до 35 - 40 Ом · м, уменьшением оптической ширины запрещенной зоны и сдвигом края оптического пропускания с 389 до 404 нм. Все изменения оптических и электрических свойств пленок ZnO можно объяснить изменением концентрации и подвижности свободных носителей в пленке.
  • C.G. Granqvist. Solar Energy Mater. Solar Cells, 91, 1529 (2007)
  • K. Ellmer, A. Klein, B. Rech. Transparent conductive zinc oxide: Basics and applications in thin film solar cells (Springer, 2008)
  • M.K. Jayaraj, A. Antony, M. Ramachandran. Bull. Mater. Sci., 25 (3), 227 (2002)
  • M. Kon, P.K. Keun, Y. Shigesato, P. Frash, M. Akio, K. Susuki. Jpn. J. Appl. Phys., 41, 6174 (2002)
  • А.Ф. Белянин, Н.В. Суетин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев, Д.В. Лопаев, В.Г. Пирогов, С.И. Поляков, Н.И. Сушенцов, Л.В. Павлушкин, В.А. Кривченко. Системы и средства связи, телевидения и радиовещания, N 1--2, 76 (2006)
  • D.-S. Liu, C.-Y. Wu, C.-S. Sheu, F.-C. Txai, C.H. Li. Jpn. J. Appl. Phys., 45, 3531 (2006)
  • В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, А.Т. Рахимов, Н.В. Суетин, А.С. Трифонов. ЖТФ, 28 (8), 107 (2008)
  • А.Н. Грузинцев, В.Т. Волков, К. Бартхоу, П. Бенаул. ФТП, 36 (6), 741 (2002)
  • А.Н. Грузинцев, В.Т. Волков, Е.Е. Якимов. ФТП, 37 (3), 275 (2003)
  • N.L. Hung. J. Korean Phys. Soc., 57 (6), 1784 (2010)
  • W.L. Dang, Y.Q. Fu, J.K. Luo, A.J. Flewitt, W.I. Milne. Superlatt. Microstruct., 42, 89 (2007)
  • В.А. Александров, А.Г. Веселов, О.А. Кирясова, А.А. Сердобинцев. Письма ЖТФ, 38 (18), 496 (2012)
  • S. Youssef, P. Combette, J. Podlecki, R. Al Asmar, A. Foucaran. Cryst. Growth Des., 9 (2), 1088 (2009)
  • T. Minami, T. Miyata, T. Yamamoto, H. Toda. J. Vac. Sci. Technol., 18, 1584 (2000)
  • Zhu Chang, Mi Gaoyuan, A.P. Dostanko, D.A. Golosov, S.M. Zavatskiy. J. Appl. Optics, 31 (5), 855 (2010)
  • Д.А. Голосов, С.М. Завадский, И.В. Свадковский, С.Н. Мельников. Вакуумная техника и технология, 20 (4), 227 (2010)
  • T.K. Subramanyam, B. Srinivasulu Naidu, S. Uthanna. Cryst. Res. Technol., 35 (10), 1193 (2000)
  • С.И. Садовников, Н.С. Кожевникова, А.А. Ремпель. ФТП, 44 (10), 1394 (2010)
  • A.P. Roth, B.W. James, D.F. Williams. Phys. Rev. B, 25 (12), 7836 (1982)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.