"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Технология и электронные свойства PHEMT-квантовых ям AlGaAs/Iny(z)Ga1-y(z)As/GaAs с переменным профилем состава
Васильевский И.С.1, Виниченко А.Н.1, Грехов М.М.1, Гладков В.П.1, Каргин Н.И.1, Стриханов М.Н.1
1Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 9 января 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.

Для управления потенциальным профилем квантовой ямы реализована технология варизонных слоев InyGa1-yAs с неоднородным профилем состава вдоль направления роста. Структурные свойства образцов аттестованы методом рентгеновской дифрактометрии. В выращенных PНЕМТ-гетероструктурах с односторонним и двусторонним delta-легированием Al0.23Ga0.77As/InyGa1-yAs/Al0.23Ga0.77As исследовано влияние неоднородного состава квантовой ямы на структурные и электронные транспортные свойства образцов (градиент содержания InAs до 1.2%/нм при среднем y =0.2). Оптимизация профиля состава приводит к увеличению подвижности и концентрации электронов. Эффект связан как с изменением профиля дна квантовой ямы и ее эффективной глубины, так и с уменьшением рассеяния электронов за счет более симметричной формы электронной волновой функции в квантовой яме.
  • S. Sen, F. Capasso, A.C. Gossard, R.A. Spah, A.L. Hutchinson, S.N.G. Chu. Appl. Phys. Lett., 51 (18), 1428 (1987)
  • Y.R. Lee, A.K. Ramdas, A.L. Moretti, F.A. Chambers, G.P. Devane, L.R. Ram-Mohan. Phys. Rev. B, 41 (12), 8380 (1990)
  • R.F. Kopf, M.H. Herman, M. Lamont Schnoes, A.P. Perley, G. Livescu, M. Ohring. J. Appl. Phys., 71 (10), 5004 (1992)
  • S.M. Wang, G. Treideris, W.Q. Chen, T.G. Andersson. Appl. Phys. Lett., 62 (1), 61 (1993)
  • J.-C. Huang, W.-C. Hsu, C.-S. Lee, D.-H. Huang, M.-F. Huang. Semicond. Sci. Technol., 21, 619 (2006)
  • C.-S. Lee, W.-T. Chien. J. Electrochem. Soc., 158 (4), H452 (2011)
  • Y.-J. Li, W.-C. Hsu, I.-L. Chen, C.-S. Lee, Y.-J. Chen, I. Lo. J. Vac. Sci. Technol. B, 22 (5), 2429 (2004)
  • T.-K. Yoo, P. Mandeville, H. Park, W.J. Schaff, L.F. Eastman. Appl. Phys. Lett., 61 (16), 1942 (1992)
  • Г.Б. Галиев, И.С. Васильевский, Е.А. Климов, В.Г. Мокеров, А.А. Черечукин. ФТП, 40 (12), 1479 (2006)
  • И.С. Васильевский, Г.Б. Галиев, Е.А. Климов, В.Г. Мокеров, С.С. Широков, Р.М. Имамов, И.А. Субботин. ФТП, 42 (9), 1102 (2008)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.