Вышедшие номера
Влияние длительности электрохимического анодирования на микротвердость макропористого кремния
Дмитриевский А.А.1, Ефремова Н.Ю.1, Дружкин А.В.1, Коростелева Т.О.1, Гусева Д.Г.1
1Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия
Поступила в редакцию: 23 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.

Исследована зависимость микротвердости H формируемых макропористых слоев кремния от длительности электрохимического анодирования tan при постоянной плотности тока J=20 мА/см2. Показано, что нелинейный характер зависимости H(tan) обусловлен влиянием на микротвердость не только поверхностной плотности пор, но и монокристаллической основы при L<10 h, где L и h - толщина пористого слоя и глубина внедрения индентора соответственно.