Влияние длительности электрохимического анодирования на микротвердость макропористого кремния
Дмитриевский А.А.1, Ефремова Н.Ю.1, Дружкин А.В.1, Коростелева Т.О.1, Гусева Д.Г.1
1Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия
Поступила в редакцию: 23 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.
Исследована зависимость микротвердости H формируемых макропористых слоев кремния от длительности электрохимического анодирования tan при постоянной плотности тока J=20 мА/см2. Показано, что нелинейный характер зависимости H(tan) обусловлен влиянием на микротвердость не только поверхностной плотности пор, но и монокристаллической основы при L<10 h, где L и h - толщина пористого слоя и глубина внедрения индентора соответственно.
- Yu.P. Piryatinski, L.O. Dolgov, O.V. Yaroshchuk, S. Lazarouk. Mol. Cryst. Liq. Cryst., 467, 195 (2007)
- U. Griming, V. Lehmann, S. Ottow. Appl. Phys. Lett., 68 (6), 747 (1996)
- H. Saha, C. Pramanik. Mater. and Manufactur. Processes, 21, 239 (2006)
- В.В. Болотов, П.М. Корусенко, С.Н. Несов, С.Н. Поворознюк, В.Е. Росликов, Е.А. Курдюкова, Ю.А. Стенькин, Р.В. Шелягин, Е.В. Князев, В.Е. Кан, И.В. Пономарева. ФТП, 45 (5), 702 (2011)
- L.S. Monastyrskyi, O.I. Aksimentyeva, M.R. Pavlyk, V.P. Savchyn, L.I. Yaryc'ka. Mol. Cryst. Liq. Cryst., 536, 58 (2011)
- H. Foll, M. Leisner, A. Cojocaru, J. Carstensen. Materials, 3, 3006 (2010)
- Y. Lu, J. Yang, W. Lu, R. Liu, G. Qiao, C. Bao. Mater. and Manufactur. Processes, 25, 998 (2010)
- В.А. Юзова, А.А. Левицкий, П.А. Харлашин. Журн. Сибир. федерал. ун-та. Техника и технологии, 1, 92 (2011)
- K. Berrada, H. Targaoui, A. Kaddouri, G. Louarn, G. Froyer, A. Outzourhit. Spectroscopy Lett., 40, 753 (2007)
- Е.Б. Король, С.М. Иккарин. Письма ЖТФ, 26 (6), 1 (2000)
- Б.М. Костишко, Ю.С. Нагорнов. Письма ЖТФ, 27 (19), 58 (2001)
- В.И. Соколов, А.И. Шелых. Письма ЖТФ, 34 (5), 34 (2008)
- В.В. Мокряков. Вычислительная механика сплошных сред, 3 (3), 90 (2010)
- Д.С. Гаев, С.Ш. Рехвиашвили. ФТП, 46 (2), 145 (2012)
- Ю.И. Головин. ФТТ, 50 (12), 2113 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.