"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Структурные и оптические свойства плeнок ZnO, полученных безвакуумным химическим методом
Стрельчук В.В.1, Авраменко Е.А.1, Романюк А.С.1, Завьялова Л.В.1, Свечников Г.С.1, Хомченко В.С.1, Рощина Н.Н.1, Ткач В.Н.2
1Институт физики полупроводников им. Лашкарeва Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Институт сверхтвердых материалов им. Бакуля, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 1 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.

Плeнки ZnO получены новым химическим безвакуумным методом: путeм пиролиза ацетилацетоната цинка при температуре 280-300oC. Исследованы структурные, фононные и излучающие свойства плeнок ZnO при помощи рентгеновской дифракции, сканирующей электронной микроскопии, комбинационного рассеяния света и фотолюминесцентной спектроскопии. Регистрация в рентгеновских дифракционных спектрах интенсивного пика (0002) указывает на преимущественную ориентацию кристаллитов в плeнках ZnO в направлении (0001). На основе анализа моды E2high в спектре комбинационного рассеяния света в плeнках ZnO определена величина упругих деформаций varepsilonzz (~3.2·10-3) и качество кристаллической структуры. Проведено сравнение характеристик полученной плeнки с аналогичными характеристиками плeнки ZnO, выращенной методом электронно-лучевой эпитаксии. В результате продемонстрирована возможность выращивания поликристаллических плeнок ZnO достаточно высокого качества c помощью низкотемпературного технологичного метода.
  • L.P. Schuler, M.M. Alkaisi, P. Miller, R.J. Reeves. Microelectron. Engin., 83, 1403 (2006)
  • M. Link, J. Weber, M. Schreiter, W. Wersing, O. Elmazria, P. Alnot. Sensors Actuators B, 121, 372 (2007)
  • G. Ferblantier, F. Mailly, R. Al Asmar, A. Foucaran, F. Pascal-Delannoy. Sensors Actuators A, 122, 184 (2005)
  • G.S. Svechnikov, L.V. Zavyalova, N.N. Roshchina, I.V. Prokopenko, L.I. Berezhinsky, V.S. Khomchenko, O.S. Lytvyn. Semiconductor Physics, Quant. Electron. Optoelectron., 7, 157 (2004)
  • N.M. Roshchina a, P.S. Smertenko b, V.G. Stepanov, L.V. Zavyalova, O.S. Lytvyn. Sol. St. Phenomena, 200, 3 (2013)
  • L.F. Zharovsky, L.V. Zavjalova, G.S. Svechnikov. Thin Sol. Films, 128, 241 (1985)
  • И. Стары. Экстракция хелатов (М., Мир, 1964) гл. 3, с. 215
  • V.R. Shinde, T.P. Gujar, C.D. Lokhande, R.S. Mane, Sung-Hwan Han. Mater. Chem. Phys., 96, 326 (2006)
  • Xingyan Xu, Chuanbao Cao. J. Magn. Magn. Mater., 321, 2216 (2009)
  • В.В. Ратников, Р.Н. Кютт, С.В. Иванов, М.П. Щеглов. ФТП, 44, 265 (2010)
  • L. El Mir, Z. Ben Ayadi, H. Rahmouni, J. El Ghoul, K. Djessas, H.J. von Bardeleben. Thin Sol. Films, 517, 6007 (2009)
  • T.C. Damen, S.P.S. Porto, B. Tell. Phys. Rev., 142, 570 (1966)
  • H. Harima. J. Phys.: Condens. Matter., 14, R967 (2002)
  • Th. Gruber, G.M. Prinz, C. Kirchner, R. Kling, F. Reuss, W. Limmer, A. Waag. J. Appl. Phys., 96, 289 (2004)
  • T. Wermeling, R. Spolenak. J. Appl. Phys., 106, 064 907 (2009)
  • В.Е. Кайдашев, О.В. Мисочко, M.R. Correia, M. Peres, T. Monteiro, N.A. Sobolev, Е.М. Кайдашев. Письма ЖТФ, 35, 32 (2009)
  • R.H. Callender, S.S. Sussman, M. Selders, R.K. Chang. Phys. Rev. B, 7, 3788 (1973)
  • Xiaming Zhu, Huizhen Wu, Zijian Yuan, Jinfang Kong, Wenzhong Shen. J. Raman. Spectrosc., 40, 2155 (2009)
  • K. Thonke, T.H. Gruber, N. Teofilov, R. Schonfelder, A. Waag, R. Sauer. Physica B, 308, 945 (2001)
  • D.M. Bagnall, Y.F. Chen, M.Y. Shen, Z. Zhu, T. Goto, T. Yao. J. Cryst. Growth. 184, 605 (1998)
  • F.H. Leiter, H.R. Alves, A. Hofstaetter, D.M. Hofmann, B.K. Meyer. Phys. Status Solidi B, 226, R4 (2001)
  • S.B. Zhang, S.-H. Wei, A. Zunger. Phys. Rev. B, 63, 075 205 (2001)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.