Вышедшие номера
Структурные и оптические свойства плeнок ZnO, полученных безвакуумным химическим методом
Стрельчук В.В.1, Авраменко Е.А.1, Романюк А.С.1, Завьялова Л.В.1, Свечников Г.С.1, Хомченко В.С.1, Рощина Н.Н.1, Ткач В.Н.2
1Институт физики полупроводников им. Лашкарeва Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Институт сверхтвердых материалов им. Бакуля, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 1 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.

Плeнки ZnO получены новым химическим безвакуумным методом: путeм пиролиза ацетилацетоната цинка при температуре 280-300oC. Исследованы структурные, фононные и излучающие свойства плeнок ZnO при помощи рентгеновской дифракции, сканирующей электронной микроскопии, комбинационного рассеяния света и фотолюминесцентной спектроскопии. Регистрация в рентгеновских дифракционных спектрах интенсивного пика (0002) указывает на преимущественную ориентацию кристаллитов в плeнках ZnO в направлении (0001). На основе анализа моды E2high в спектре комбинационного рассеяния света в плeнках ZnO определена величина упругих деформаций varepsilonzz (~3.2·10-3) и качество кристаллической структуры. Проведено сравнение характеристик полученной плeнки с аналогичными характеристиками плeнки ZnO, выращенной методом электронно-лучевой эпитаксии. В результате продемонстрирована возможность выращивания поликристаллических плeнок ZnO достаточно высокого качества c помощью низкотемпературного технологичного метода.