"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Синтез многокомпонентных металлооксидных пленок различного состава (SnO2)x(ZnO)1-x (x=1-0.5)
Рембеза С.И.1, Кошелева Н.Н.1, Рембеза Е.С.1, Свистова Т.В.1, Плотникова Е.Ю.1, Suvaci E.2, Ozel E.2, Tuncolu G.2, A ciksari C.2
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Anadolu University, Eski sehir, Turkey
Поступила в редакцию: 11 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2014 г.

Использованы высокочистые порошки SnO2 и ZnO, полученные из растворов солей соответствующих металлов методом низкотемпературного гидротермального синтеза. Методом сухого прессования изготовлены фрагменты керамических мишеней SnO2 и ZnO в виде брусков размером 1 x8 см, которые использованы в качестве составных мишеней для ионно-лучевого распыления и изготовления пленок переменного состава (SnO2)x(ZnO)1-x, x = 1-0.5, пригодных для создания устройств газовой сенсорики или прозрачной электроники. Исследованы оптические и электрические параметры прозрачных пленок переменного состава.
  • И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов, С.А. Завьялов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991)
  • J.F. Wager. Science, 300, 1245 (2003)
  • H.Q. Chiang, J.F. Wager, R.L. Hoffman, J. Jeong, D.A. Keszler. Appl. Phys. Lett., 86, 013 503 (2005)
  • T. Riedl, P. Gorrn, W. Kowalsky. J. Display Technol., 5 (12), 501 (2009)
  • W.L. Suchanek, R.E. Riman. Adv. Sci. Technol., 45, 184 (2006)
  • J.H. Adair, E. Suvaci. In: Encyclopedia of Materials (Elsevier, Science Publisher, 2001)
  • И.В. Золотухин, Ю.Е. Калинин, О.В. Стогней. Новые направления физического материаловедения (Воронеж, ВГТУ, 2000)
  • В.В. Батавин, Ю.А. Концевой, Ю.В. Федорович. Измерения параметров полупроводниковых материалов и структур (М., Радио и связь, 1985)
  • K.L. Chopra, S. Major, D.K. Pandya. Thin Sol. Films, 102, 1 (1983)
  • Физико-химические свойства окислов. Справочник, под ред. Г.В. Самсонова (М., Металлургия, 1969)
  • G. Frank, H. Kostlin. Phys. Status. Solidi A, 52, 231 (1979)
  • П.Е. Воронов. Автореф. канд. дис. (Ставрополь, СевКавГТУ, 2009)
  • J. Watson, K. Ihokura, G.S.V. Coles. Meas. Sci. Technol., 4, 717 (1993)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.