Вышедшие номера
Количественная калибровка и послойный анализ концентрации германия в гетероструктурах GexSi1-x/Si методом вторично-ионной масс-спектрометрии
Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Новиков А.В.1, Юнин П.А.1, Юрасов Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 28 ноября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2014 г.

Обсуждаются режимы количественного анализа концентрации германия в слоях GexSi1-x методом вторично-ионной масс-спектрометрии, позволяющие минимизировать нелинейные матричные эффекты. Для установки TOF.SIMS-5 с времяпролетным масс-анализатором апробированы режимы анализа, использующие различные типы вторичных ионов при распылении ионами цезия: положительные GeCs+, SiCs+ и отрицательные Ge-, Si-. В отличие от существующих работ для установок TOF.SIMS показана линейная зависимость отношения концентраций ионов Ge-/Si- от величины x/(1-x). Предложено два новых варианта линейных калибровок для концентрации германия с использованием кластерных вторичных ионов Ge2-. Определены калибровочные коэффициенты для всех линейных калибровок при разных энергиях распыляющих ионов цезия и зондирующих ионах Bi+ и Bi+3. Впервые установлено, что среди возможных режимов количественного послойного анализа концентрации германия в многослойных гетероструктурах GexSi1-x/Si наилучшее разрешение по глубине обеспечивает режим калибровки, использующий элементарные отрицательные вторичные ионы Ge- и Si-.