"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Получение алмазных пленок на кристаллическом кремнии методом термического газофазного осаждения
Байдакова М.В.1, Вуль А.Я.1, Голубев В.Г.1, Грудинкин С.А.1, Мелехин В.Г.1, Феоктистов Н.А.1, Крюгер А.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Тоёхашский технологический университет,0 Тоёхаши, Япония
Поступила в редакцию: 25 декабря 2001 г.
Выставление онлайн: 21 мая 2002 г.

Представлены результаты исследования влияния параметров процесса термического газофазного осаждения на фазовый состав алмазных пленок, выращенных на кремниевой подложке. Найден режим роста, отвечающий наибольшему содержанию в пленках алмазной фазы при скорости роста ~ 1 мкм/ч.
  • J.C. Angus, C.C. Hayman. Science, 241, 913 (1988)
  • S. Shikata. MRS Bulletin, 23 (9), 61 (1998)
  • V. Malcher, A. Kromka, J. Janik, V. Dubravcova, P. Vogrincic. Acta Physica Slovaca, 50, 673 (2000)
  • A. Sawabe, T. Inuzuka. Appl. Phys. Lett., 46, 146 (1985)
  • X.C. He, H.S. Shen, Z.M. Zhang, X.J. Hu, Y.Z. Wan, T. Shen. Diamond Relat. Mater., 9, 1626 (2000)
  • A.M. Stoneham, I.J. Ford, P.R. Chalker. MRS Bulletin, 23 (9), 28 (1998)
  • C. Arnault, L. Demuynck, C. Speisser, F.L. Normand. Eur. Phys. J. B, 11, 327 (1999)
  • N.S. Xu, J. Chen, S.Z. Deng, K.H. Wu, E.G. Wang. J. Phys. D: Appl. Phys., 33, 1572 (2000)
  • Y. Chakk, R. Brener, A. Hoffman. Appl. Phys. Lett., 66, 2819 (1995)
  • H. Makita, K. Nishimura, N. Jiang, A. Hatta, T. Ito, A. Hiraki. Thin Sol. Films, 281, 279 (1996)
  • P. Ascarelli, S. Fontana. Appl. Surf. Sci., 64 (4), 307 (1993)
  • B.R. Stoner, G.-H.M. Ma, S.D. Wolter, J.T. Glass. Phys. Rev. B, 45, 11 067 (1992)
  • D.-W. Kweon, J.-Y. Lee, D. Kim. J. Appl. Phys., 69, 8329 (1991)
  • K.E. Spear, M. Frenklach. Synthetic diamond: Emerging CVD science and technology, ed. by K.E. Spear, J.P. Dismukes (N. Y., John Wiley and Sons, Inc., 1994) p. 243
  • A.K. Skider, A.P. Jacob, T. Sharda, D.S. Misra, M. Pandey, D. Kabriraj, D.K. Avasthi. Thin Sol. Films, 32, 98 (1998)
  • S. Logothetidis. Appl. Phys. Lett., 69, 158 (1996)
  • R.G. Buckley, T.D. Moustakas, L. Ye, J. Varon. J. Appl. Phys., 66, 3595 (1989)
  • L. Bergman, R.J. Nemanich. J. Appl. Phys., 78, 6709 (1995)
  • Powder Diffraction File 6-675 (USA, International Center for Diffraction Data, 1991) [Joint Committee on Powder Diffraction Standards, International Center for Diffraction Data, Swarthmore, PA, USA]
  • H. Windischmann, K.J. Gray, Diamond Relat. Mater., 4, 837 (1995)
  • V.I. Konov, A.A. Smolin, V.G. Ralchenko, S.M. Pimenov, E.D. Obraztsova, E.N. Loubnin, S.M. Metev, G. Sepold. Diamond Relat. Mater., 4, 1073 (1995)
  • P. Keblinski, D. Wolf, F. Cleri, S.R. Phillpot, H. Gleiter. MRS Bulletin, 23 (9), 36 (1998)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.