"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Образование комплексов, связанных с атомами селена, в кремнии
Таскин А.А.1, Тишковский Е.Г.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 8 ноября 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.

Представлены результаты исследования процессов образования в кремнии комплексов, связанных с атомами селена. На основании анализа кинетики формирования донорных центров определены состав простейших комплексов и основные параметры их образования. Проведен анализ процесса полимеризации Se + Sen-1=<ftrightarrowSen атомов селена в кремнии, позволивший количественно описать особенности диффузии атомов селена из имплантированной области в глубину кристалла. Равновесная растворимость атомов селена в кремнии рассматривается как результат формирования ограниченной концентрации мономеров в процессах образования комплексов.
  1. E. Janzen, H.G. Grimmeiss. J. Phys. C: Sol. St. Phys., 15, 5791 (1982)
  2. E. Janzen, R. Stedman, G. Grossmann, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B, 29, 1907 (1984)
  3. E. Janzen, G. Grossmann, R. Stedman, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B, 31, 8000 (1985)
  4. S.D. Brotherton, M.J. King, G.J. Parker. J. Appl. Phys., 52 (7), 4649 (1981)
  5. H.G. Grimmeiss, E. Janzen. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 14, 33 (1983)
  6. V. Kalyanaraman, M.M. Chandra, V. Kumar. J. Appl. Phys., 54, 6417 (1983)
  7. N. Sclar. J. Appl. Phys., 52, 5207 (1981)
  8. А.А. Таскин, Е.Г. Тишковский. ФТП, 32, 1306 (1998)
  9. А.А. Таскин, Б.А. Зайцев, В.И. Ободников, Е.Г. Тишковский. ФТП, 34, 318 (2000)
  10. А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1983)
  11. Н.Н. Калиткин. Численные методы (М., Наука, 1978)
  12. К.В. Гардинер. Стохастические методы в естественных науках (М., Мир, 1986)
  13. С.В. Булярский, В.И. Фистуль. Термодинамика и кинетика взаимодействующих дефектов в полупроводниках (М., Наука, 1997)
  14. Н.Н. Герасименко, Б.А. Зайцев, В.С. Куликаускас, А.А. Таскин, Е.Г. Тишковский. Тез. докл. Всес. конф. "Ионно-лучевая модификация материалов" (Каунас, 1989) с. 56
  15. D. Nobili, S. Solmi, A. Parisini, M. Derdour, A. Armigliato, L. Moro. Phys. Rev. B, 49, 2477 (1994)
  16. A. Istratov, C. Flink, H. Hieslmair, E.R. Weber, N. Heiser. Phys. Rev. Lett., 81, 1243 (1998)
  17. M.B. Huang, I.V. Mitchell. J. Appl. Phys., 85, 174 (1999)
  18. K. Weisser. J. Phys. Chem. Sol., 7, 118 (1958)
  19. K. Weisser. J. Phys. Chem. Sol., 17, 149 (1960)
  20. H.R. Vydyanath, J.S. Lorenzo, F.A. Kroger. J. Appl. Phys., 49, 5928 (1978)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.