"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Вольт-фарадные характеристики p-n-структур на основе (111)Si, легированного эрбием и кислородом
Емельянов А.М.1, Соболев Н.А.1, Якименко А.Н.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербурский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 19 февраля 2001 г.

Исследованы вольт-фарадные характеристики туннельных диодов, полученных с использованием соимплантации эрбия и кислорода в пластины монокристаллического Si (111). Обнаружено наличие аномального увеличения емкости p-n-перехода при увеличении обратного напряжения при определенных, зависящих от дозы имплантации, температурах. Рост емкости (уменьшение ширины области пространственного заряда) связывается с образованием в n-слое p-n-перехода высокой плотности глубоких уровней в запрещенной зоне Si и освобождением их от электронов в области пространственного заряда при увеличении напряжения. Экспериментальные результаты указывают на то, что параметры дефектов, ответственных за появление уровней, могут зависеть от дозы имплантации эрбия и кислорода.
  • G. Franzo, S. Coffa, F. Priolo, C. Spinella. J. Appl. Phys., 81, 2784 (1997)
  • А.М. Емельянов, Н.А. Соболев, П.Е. Хакуашев, М.А. Тришенков. ФТП, 34, 965 (2000)
  • Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Ю.А. Николаев. ФТП, 34, 1069 (2000)
  • N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, K.F. Shtel'makh. Appl. Phys. Lett., 71, 1930 (1997)
  • A.M. Emel'yanov, N.A. Sobolev, A.N. Yakimenko. Appl. Phys. Lett., 72, 1223 (1998)
  • Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Ю.А. Николаев, В.И. Вдовин. ФТП, 33, 660 (1999)
  • N.A. Sobolev, Yu.A. Nikolaev, A.M. Emel'yanov, K.F. Shtel'makh, P.E. Khakuashev, M.A. Trishenkov. J. Luminesc., 80, 315 (1999)
  • Ж. Бургуэн, М. Ланно. Точечные дефекты в полупроводниках. Экспериментальные аспекты Пер. с англ. под ред. В.Л. Гуревича (М., Мир, 1985)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.