"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Элементный состав и электрические свойства пленок a-C : H<Cu>, полученных магнетронным распылением
Звонарева Т.К.1, Лебедев В.М.2, Полянская Т.А.1, Шаронова Л.В.1, Иванов-Омский В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
Поступила в редакцию: 14 марта 2000 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2000 г.

Методом магнетронного сораспыления графитовой и медной мишеней в аргоно-водородной атмосфере на постоянном токе получены пленки аморфного гидрогенизированного углерода с различной концентрацией меди. Определено относительное содержание атомов углерода, меди, кислорода с использованием метода обратного резерфордовского рассеяния протонов и метода ядерных реакций. Исследована удельная проводимость пленок на постоянном токе в геометрии вдоль и поперек пленки. Данные по проводимости обсуждаются в модели среды, представляющей собой диэлектрическую матрицу с включениями двух разных проводящих фаз в виде графитоподобных и медных нанокластеров.
  • T. Cabioc'h, A. Naudon, M. Jaouen, D. Thiaudiere, D. Babonneau. Phil. Mag., 79 (3), 501 (1999)
  • J. Jiao, S. Seraphin. J. Appl. Phys., 83 (5), 2442 (1998)
  • В.И. Иванов-Омский, А.Б. Лодыгин, С.Г. Ястребов. ФТТ, 37 (6), 1693 (1995)
  • V.I. Ivanov-Omskii, A.B. Lodygin, S.G. Yastrebov. Mol. Mater., 8, 95 (1996)
  • V.I. Ivanov-Omskii, A.I. Tolmatchev, S.G. Yastrebov. Phil. Mag. B, 73, 715 (1996)
  • В.И. Иванов-Омский, В.И. Сиклицкий, С.Г. Ястребов. ФТТ, 40 (3), 568 (1998)
  • A.V. Kolobov, H. Oyanagi, S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, K. Tanaka. J. Surf. Analysis, 4 (2), 377 (1998)
  • В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 32(8), 931 (1998)
  • Т.К. Звонарева, В.И. Иванов-Омский, А.В. Нащекин, Л.В. Шаронова. ФТП, 34(1), 96 (2000)
  • Ion Beam Handbook for Material Analysis, ed. by J.M. Mayer, E. Rimini (N.Y., Academic Press, 1977)
  • V.M. Lebedev, V.A. Smolin. 1994--1995 PNPI Research Report (Gatchina, 1996) p. 296
  • F. Jansen, M. Machonkin, S. Kaplan, S. Hark. J. Vac. Sci. Technol., A3 (3), 605 (1985)
  • Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос. Электронные свойства легированных полупроводников (М., Наука, 1979)
  • D. Kember, N. Sheppard. Appl. Spectr., 29 (6), 496 (1975)
  • А.О. Голубок, О.М. Горбенко, Т.К. Звонарева, С.А. Масалов, В.В. Розанов, С.Г. Ястребов, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34 (2), 223 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.