"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Радиационные дефекты в n-6H-SiC, облученном протонами с энергией 8 МэВ
Лебедев А.А.1, Вейнгер А.И.1, Давыдов Д.В.1, Козловский В.В.2, Савкина Н.С.1, Стрельчук А.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 31 января 2000 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2000 г.

Емкостными методами и методом электронного парамагнитного резонанса проведено исследование глубоких центров, образующихся в n-6H-SiC, облученном протонами с энергией 8 МэВ. В качестве образцов были выбраны диоды Шоттки и p-n-структуры, как изготовленные методом сублимационной эпитаксии, так и коммерчески выпускаемые CREE Inc (США). Обнаружено, что тип вводимых облучением центров не зависит от технологии изготовления материала и от вида заряженных частиц. Показано, что под действием облучения происходит увеличение суммарной концентрации донорных центров. На основе данных по отжигу дефектов и данных электронного парамагнитного резонанса сделаны предположения о возможной структуре образовавшихся центров.
  • В.В. Козловский, С.И. Пономарев, И.А. Козловская. Письма ЖТФ, 20, 1 (1994)
  • А.О. Константинов, В.Н. Кузьмин, Л.С. Лебедев, Д.П. Литвин, А.Г. Остроумов, В.И. Санкин, В.В. Семенов. ЖТФ, 54, 1622 (1984)
  • G.C. Rybicki. J. Appl. Phys., 78, 2996 (1995)
  • R.K. Nadela, M.A. Capano. Appl. Phys. Lett., 70, 886 (1997)
  • T. Dalibor, G. Pensl, H. Matsunami, T. Kimoto, W.J. Choyke, A. Schoner, N. Nordel. Phys. St. Sol. (a), 162, 199 (1997)
  • W. Puff, P. Mascher, A.G. Balogh, H. Baumann. Mater. Sci. Forum, 258--263, 733 (1997)
  • J.W. Palmor, J.A. Edmond, H.S. Kong, C.H. Carter, Jr. Physica B, 185, 461 (1993)
  • N.S. Savkina, A.A. Lebedev, D.V. Davydov, A.M. Strel'chuk, A.S. Tregubova, M.A. Yagovkina. Mater. Sci. Eng. B, 61--62, 165 (1999)
  • Радиационные процессы в технологии материалов и изделий электронной техники, под ред. В.С. Иванова, В.В. Козловского (М., Энергоатомиздат, 1997)
  • А.А. Лебедев, Н.А. Соболев. ФТП, 16, 1874 (1982)
  • В.Н. Брудный, А.И. Потапов. Матер. 7-й Росс. конф. "Арсенид галлия" (Томск, 1999) с. 68
  • В.С. Балландович. ФТП, 33, 1314 (1999)
  • М.М. Аникин, А.С. Зубрилов, А.А. Лебедев, А.М. Стрельчук, А.Е. Черенков. ФТП, 25, 479 (1991)
  • А.И. Вейнер, В.А. Ильин, Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков. ФТП, 15, 1557 (1981)
  • М.М. Аникин, А.А. Лебедев, А.Л. Сыркин, А.В. Суворов. ФТП, 19, 69 (1985)
  • P.G. Baranov, I.V. Il'in, E.N. Mokhov. Phys. Sol. St., 40, 36 (1998)
  • A.A. Lebedev, A.M. Strel'chuk, V.V. Kozlovskii, N.S. Savkina, D.V. Davydov, V.V. Soloviev. Mater. Sci. Eng. B, 61--62, 450 (1999)
  • А.А. Лебедев. ФТП, 30, 39 (1996)
  • Н.М. Павлов, М.И. Иглицын, М.Г. Косаганова, В.Н. Соломатин. ФТП, 9, 1279 (1975)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.