Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Перераспределение атомов фосфора, имплантированных в сильно легированный бором кремний

Тишковский Е.Г.¹, Ободников В.И.¹, Таскин А.А.¹, Феклистов К.В.¹, Серяпин В.Г.¹

¹Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Поступила в редакцию: 7 декабря 1999 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2000 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследованы особенности перераспределения атомов фосфора, введенных имплантацией в пластины кремния с высокой исходной концентрацией бора N_B=2.5· 10²⁰ см^-3. Показано, что предварительное легирование бором приводит к тому, что уширение концентрационных профилей фосфора в процессе отжига в интервале температур 900-1150^oC в течение 1 ч существенно меньше, чем в слабо легированном кремнии. Результаты интерпретированы в терминах межпримесного взаимодействия с образованием неподвижных пар бор-фосфор. Оценена энергия связи комплексов бор-фосфор в кремнии, составившая 0.6-0.8 эВ.

А.М. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Е.Г. Тишковский, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. Письма ЖЭТФ, 60, 96 (1994)
А.М. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Е.Г. Тишковский, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. ФТП, 31, 338 (1997)
А.М. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Е.Г. Тишковский, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. ФТП, 31, 703 (1997)
В.И. Ободников, Е.Г. Тишковский. ФТП, 32, 417 (1998)
B. Margesin, R. Canteri, S. Solmi, A. Armigliato, F. Baruffaldi. J. Mater. Res., 6, 2353 (1991)
S. Solmi, S. Valmorri, R. Canteri. J. Appl. Phys., 77, 2400 (1995)
F. Wittel, S. Dunham. Appl. Phys. Lett., 66, 11 (1995)
А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1983) гл. 3, с. 141
C.P. Ho, J.D. Plummer, S.E. Hansen, R.W. Dutton. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-30, 1438 (1983)
R.B. Fair, J.C.C. Tcai. J. Electrochem. Soc., 124, 1107 (1977)
П.В. Ковтуненко. Физическая химия твердого тела. Кристаллы с дефектами (М., Высш. шк., 1993) гл. 1, с. 11

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель