"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности релаксации термоиндуцированных и фотоиндуцированных метастабильных состояний в пленках a-Si : H<P>
Курова И.А.1, Ларина Э.В.1, Ормонт Н.Н.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 23 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Обсуждается кинетика релаксации термоиндуцированных и фотоиндуцированных метастабильных состояний, обусловливающих повышение темновой проводимости пленок a-Si : H<P>. Установлено, что релаксация описывается функциями типа растянутой экспоненты с параметрами tau и beta, различно зависящими от температуры для фото- и термоиндуцированных состояний. Так, релаксация фотоиндуцированных состояний характеризуется уменьшением beta с температурой, для термоиндуцированных состояний параметр beta практически постоянен. Показано, что эти различные температурные зависимости beta коррелируют с температурными изменениями полуширины распределений по энергиям отжига этих состояний. Установленные особенности релаксации фото- и термоиндуцированных метастабильных состояний обусловлены разными механизмами их образования. Природа их может быть одна и связана с активацией пассивированных водородом атомов фосфора.
  • X.M. Deng, H. Fritzsche. Phys. Rev. B, 36, 9378 (1987)
  • J. Jang, S.C. Park, S.C. Kim, C. Lee. Appl. Phys. Lett., 51, 1804 (1987)
  • И.А. Курова, Э.В. Ларина, Н.Н. Ормонт, Д.В. Сенашенко. ФТП, 31, 1455 (1997)
  • A.G. Kazanskii, I.A. Kurova, N.N. Ormont, I.P. Zvyagin. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 306 (1998)
  • R.A. Street, J. Kakalios, C.C. Tsai, T.M. Hayes. Phys. Rev. B, 35, 1316 (1987)
  • C.E. Nebel, R.A. Street, W.B. Jackson, N.M. Johnson. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 203 (1993)
  • R. Meaudre, M. Meaudre, P. Roca i Cabarrocas. Appl. Phys. Lett., 62, 594 (1993)
  • M. Stutzmann, W.B. Jackson, C.C. Tsai. Phys. Rev. B, 32, 23 (1985).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.