"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности релаксации термоиндуцированных и фотоиндуцированных метастабильных состояний в пленках a-Si : H<P>
Курова И.А.1, Ларина Э.В.1, Ормонт Н.Н.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 23 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Обсуждается кинетика релаксации термоиндуцированных и фотоиндуцированных метастабильных состояний, обусловливающих повышение темновой проводимости пленок a-Si : H<P>. Установлено, что релаксация описывается функциями типа растянутой экспоненты с параметрами tau и beta, различно зависящими от температуры для фото- и термоиндуцированных состояний. Так, релаксация фотоиндуцированных состояний характеризуется уменьшением beta с температурой, для термоиндуцированных состояний параметр beta практически постоянен. Показано, что эти различные температурные зависимости beta коррелируют с температурными изменениями полуширины распределений по энергиям отжига этих состояний. Установленные особенности релаксации фото- и термоиндуцированных метастабильных состояний обусловлены разными механизмами их образования. Природа их может быть одна и связана с активацией пассивированных водородом атомов фосфора.
  1. X.M. Deng, H. Fritzsche. Phys. Rev. B, 36, 9378 (1987)
  2. J. Jang, S.C. Park, S.C. Kim, C. Lee. Appl. Phys. Lett., 51, 1804 (1987)
  3. И.А. Курова, Э.В. Ларина, Н.Н. Ормонт, Д.В. Сенашенко. ФТП, 31, 1455 (1997)
  4. A.G. Kazanskii, I.A. Kurova, N.N. Ormont, I.P. Zvyagin. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 306 (1998)
  5. R.A. Street, J. Kakalios, C.C. Tsai, T.M. Hayes. Phys. Rev. B, 35, 1316 (1987)
  6. C.E. Nebel, R.A. Street, W.B. Jackson, N.M. Johnson. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 203 (1993)
  7. R. Meaudre, M. Meaudre, P. Roca i Cabarrocas. Appl. Phys. Lett., 62, 594 (1993)
  8. M. Stutzmann, W.B. Jackson, C.C. Tsai. Phys. Rev. B, 32, 23 (1985).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.