"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние изовалентного легирования индием на избыток мышьяка в арсениде галлия, выращиваемом методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре
Чалдышев В.В.1, Куницын А.Е.1, Преображенский В.В.2, Путято М.А.2, Семягин Б.Р.2, Третьяков В.В.1, Фалеев Н.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 21 января 1998 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.

С использованием методов рентгеноспектрального микроанализа, оптического пропускания в ближнем инфракрасном диапазоне и рентгеновской дифракции показано, что изовалентное легирование индием арсенида галлия в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре приводит к увеличению концентрации избыточного мышьяка, захватываемого в растущий слой.
  • F.W. Smith, A.R. Calawa, C.L. Chen, M.J. Manfra, L.J. Mahoney. Electron. Dev. Lett., 9, 77 (1988)
  • M. Kaminska, Z. Liliental-Weber, E.R. Weber, T. George, J.B. Kortright, F.W. Smith, B.Y. Tsaur, A.R. Calawa. Appl. Phys. Lett., 54, 1831 (1989)
  • Н.А. Берт, А.И. Вейнгер, М.Д. Вилисова, С.И. Голощапов, И.В. Ивонин, С.В. Козырев, А.Е. Куницын, Л.Г. Лаврентьева, Д.И. Лубышев, В.В. Преображенский, Б.Р. Семягин, В.В. Третьяков, В.В. Чалдышев, М.П. Якубеня. ФТТ, 35, 2609 (1993)
  • M.R. Melloch, N. Otsuka, J.M. Woodall, A.C. Warren, J.L. Freeouf. Appl. Phys. Lett., 57, 1531 (1990)
  • S. Gupta, M.Y. Frankel, J.A. Valdmanis, J.F. Wittaker, G.A. Mouron, F.W. Smith, A.R. Calawa. Appl. Phys. Lett., 59, 3276 (1991)
  • Z. Liliental-Weber, W. Swider, K.M. Yu, J. Kortright, F.W. Smith, A.R. Calawa. Appl. Phys. Lett., 58, 2153 (1991)
  • G.M. Martin. Appl. Phys. Lett., 39, 747 (1981)
  • R.E. Prichard, S.A. McQuaid, L. Hart, R.C. Newman, J. Makinen, H.J. von Bardeleben, M. Missous. J. Appl. Phys, 78, 2411 (1995)
  • X. Liu, A. Prassad, J. Nishio, E.R. Weber, Z. Liliental-Weber, W. Walukiewicz. Appl. Phys. Lett., 67, 279 (1995)
  • J. Dobrowski, M. Scheffler. Phys. Rev. Lett., 60, 2183 (1988)
  • J.D. Chadi, K.J. Chang. Phys. Rev. Lett., 60, 2187 (1988)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.