"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование структуры поверхности слоев диоксида олова для газовых сенсоров атомно-силовой микроскопией
Бестаев М.В.1, Димитров Д.Ц.1, Ильин А.Ю.2, Мошников В.А.1, Трэгер Ф.2, Штиц Ф.2
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Университет Касселя (кафедра физики), Д- Кассель, Германия
Поступила в редакцию: 11 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1998 г.

Представлены результаты исследования с помощью атомно-силовой микроскопии слоев диоксида олова в зависимости от условий легирования йодом и теллуром в процессе получения слоев методом термического вакуумного напыления олова с последующим его окислением. Приведены и обсуждаются данные атомно-силовой микроскопии слоев, изготовленных в различных технологических режимах. Показано, что введение легколетучих примесей в состав исходной шихты является эффективным способом модификации структуры поверхности слоев и изменения характера ее микрорельефа. Исследована и анализируется температурная зависимость чувствительности слоев к парам толуола.
  • D. Kohl. Sensor and Actuators, 18, 71 (1989)
  • Ф.Ф. Волькенштейн. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции (М., Наука, 1987)
  • Д.Е. Дышель. Неорг. матер. 32, N 1, 59 (1996)
  • C.S. Rastomjee, R.S. Dale, R.J. Schaffer, F.H. Jones, R.G. Egdell, G.C. Georgiadis, M.J. Lee, T.J. Tate, L.L. Cao. Thin Sol. Films, 279, 98 (1996)
  • A.S. Bakin, M.V. Bestaev, D.Tz. Dimitrov, V.A. Moshnikov, Yu.M. Tairov. Thin Sol. Films, 296, 168 (1997)
  • Б.А. Акимов, А.В. Албул, А.М. Гаськов, В.Ю. Ильин, М. Лабо, М.Н. Румянцева, Л.И. Рябова. ФТП, 31, 400 (1997)
  • R.S. Morrison. Sensor and Actuators, 12, 425 (1987)
  • Е.В. Андреева, А.Б. Зильберман, А.В. Махин, В.А. Мошников, Д.А. Яськов. ФТП, 1, 1095 (1993)
  • Н.И. Долотов, А.Б. Зильберман, А.В. Махин, В.А. Мошников, Д.А. Яськов. Неорг. матер., 30, N 1, 83 (1994)
  • R. Assenov, V.A. Moshnikov, D.A. Yaskov. Cryst. Res. Techn., 21, N 12, 1549 (1986)
  • Ю.Н. Андреев, М.В. Бестаев, Д.Ц. Димитров, В.А. Мошников, Ю.М. Таиров, Н.П. Ярославцев. ФТП, 7, 841 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.