"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности оптических спектров аморфного гидрированного кремния, легированного бором, в инфракрасной области спектра
Курова И.А.1, Белогорохова Л.И.1, Белогорохов А.И.2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Институт редкометаллической промышленности (Гиредмет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 28 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.

В оптических спектрах исследованных пленок a-Si : H(B) обнаружены колебательные моды на волновых числах 1879 и 1848 см-1, ранее неблюдавшиеся только в спектрах кристаллического диборана. Это указывает на образование в аморфной сетке комплексов и связей, подобных имеющимся в диборане, в частности, мостикового водорода. Изменение амплитуд обнаруженных мод после отжига пленок связывается со структурными перестройками, приводящими к уменьшению концентрации слабо связанного мостикового водорода и увеличению концентрации четырехкоординированного бора. Это объясняет обнаруженное ранее увеличение проводимости отожженных пленок.
  1. G.L. Kong, D.L. Zhang, J.P. Zhao, X.B. Liao. Sol. St. Phenomena, 44--46, 677 (1995)
  2. S.C. Shen, M. Cardona. Phys. Rev. B, 23, 5322 (1981)
  3. J.I. Pankove, P.S. Zanzucchi, C.W. Magee. Appl. Phys. Lett., 46, 421 (1985)
  4. I.A. Kurova, A.N. Lupacheva, N.N. Meleshko et al. Semiconductors, 28, 628 (1994)
  5. M. Cardona. Modulation Spectroscopy (Academic Press, N. Y., 1969)
  6. G. Lucovsky, R.S. Nemanich, S.C. Knight. Phys. Rev. B, 19, 2064 (1979)
  7. I. Freund, R.S. Halford. J. Chem. Phys., 43, 3795 (1965).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.