"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности оптических спектров аморфного гидрированного кремния, легированного бором, в инфракрасной области спектра
Курова И.А.1, Белогорохова Л.И.1, Белогорохов А.И.2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Институт редкометаллической промышленности (Гиредмет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 28 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.

В оптических спектрах исследованных пленок a-Si : H(B) обнаружены колебательные моды на волновых числах 1879 и 1848 см-1, ранее неблюдавшиеся только в спектрах кристаллического диборана. Это указывает на образование в аморфной сетке комплексов и связей, подобных имеющимся в диборане, в частности, мостикового водорода. Изменение амплитуд обнаруженных мод после отжига пленок связывается со структурными перестройками, приводящими к уменьшению концентрации слабо связанного мостикового водорода и увеличению концентрации четырехкоординированного бора. Это объясняет обнаруженное ранее увеличение проводимости отожженных пленок.
  • G.L. Kong, D.L. Zhang, J.P. Zhao, X.B. Liao. Sol. St. Phenomena, 44--46, 677 (1995)
  • S.C. Shen, M. Cardona. Phys. Rev. B, 23, 5322 (1981)
  • J.I. Pankove, P.S. Zanzucchi, C.W. Magee. Appl. Phys. Lett., 46, 421 (1985)
  • I.A. Kurova, A.N. Lupacheva, N.N. Meleshko et al. Semiconductors, 28, 628 (1994)
  • M. Cardona. Modulation Spectroscopy (Academic Press, N. Y., 1969)
  • G. Lucovsky, R.S. Nemanich, S.C. Knight. Phys. Rev. B, 19, 2064 (1979)
  • I. Freund, R.S. Halford. J. Chem. Phys., 43, 3795 (1965).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.