"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние отжига в атмосфере атомарного водорода на свойства пленок аморфного гидрированного кремния и параметры p-i-n-структур на их основе
Мездрогина М.М.1, Абрамов А.В.1, Мосина Г.Н.1, Трапезникова И.Н.1, Пацекин А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.

Уменьшение концентрации оборванных кремний-кремниевых связей в пленках a-Si : H в результате отжига в атмосфере атомарного водорода определяется концентрацией их в исходной (неотожженной) пленке. Изменение суммарной концентрации водорода в пленках a-Si : H, подвергнутых отжигу в атмосфере атомарного водорода, определяется типом кремний-водородных связей, содержанием примесей: при наличиии моногидридных связей (2020 см-1) возможно уменьшение содержания водорода до 1 at.%, при наличии кислорода (=<sssim0.1 at.%) изменения содержания водорода не наблюдается. Уменьшение концентрации дефектов в результате отжига в атмосфере атомарного водорода наблюдается для всех пленок. Эффект Стаблера--Вронского --- облучение светом АМ-1 в течение 10 ч наблюдается для всех пленок вне зависимости от суммарной концентрации водорода, типа кремний-водородных связей, наличия кислорода.
  1. T. Takahogi, S. Shiguba, H. Sakaia, K. Honishino, H. Yashina. Japan. J. Appl. Phys., Pt. II, 35, L818 (1996)
  2. Q. Zhang, T. Nishino, H. Takasina, M. Kumeda, T. Shimizu. Japan. J. Appl. Phys., 35, 4409 (1996)
  3. О.А. Голикова, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, Е.И. Теруков. ФТП, 30, 405 (1996)
  4. О.А. Голиков, М.М. Казанин, Х.Ю. Мавлянов. ФТП, 28, 1329 (1994)
  5. K. Asano. Appl. Phys. Lett., 56, 533 (1989)
  6. М.М. Мездрогина, О.А. Голикова, К. Арлаускас, Г. Юшка, М.М. Казанин, Р. Хайдаров. Неорг. матер., 27, 666 (1991)
  7. М.М. Мездрогина, О.А. Голикова, М.М. Казанин, Р. Икрамов. ЖТФ, 62, вып. 1, 108 (1992)
  8. G. Schumm. Phys. Rev. B, 49, 2442 (1994)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.