"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние отжига в атмосфере атомарного водорода на свойства пленок аморфного гидрированного кремния и параметры p-i-n-структур на их основе
Мездрогина М.М.1, Абрамов А.В.1, Мосина Г.Н.1, Трапезникова И.Н.1, Пацекин А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.

Уменьшение концентрации оборванных кремний-кремниевых связей в пленках a-Si : H в результате отжига в атмосфере атомарного водорода определяется концентрацией их в исходной (неотожженной) пленке. Изменение суммарной концентрации водорода в пленках a-Si : H, подвергнутых отжигу в атмосфере атомарного водорода, определяется типом кремний-водородных связей, содержанием примесей: при наличиии моногидридных связей (2020 см-1) возможно уменьшение содержания водорода до 1 at.%, при наличии кислорода (=<sssim0.1 at.%) изменения содержания водорода не наблюдается. Уменьшение концентрации дефектов в результате отжига в атмосфере атомарного водорода наблюдается для всех пленок. Эффект Стаблера--Вронского --- облучение светом АМ-1 в течение 10 ч наблюдается для всех пленок вне зависимости от суммарной концентрации водорода, типа кремний-водородных связей, наличия кислорода.
  • T. Takahogi, S. Shiguba, H. Sakaia, K. Honishino, H. Yashina. Japan. J. Appl. Phys., Pt. II, 35, L818 (1996)
  • Q. Zhang, T. Nishino, H. Takasina, M. Kumeda, T. Shimizu. Japan. J. Appl. Phys., 35, 4409 (1996)
  • О.А. Голикова, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, Е.И. Теруков. ФТП, 30, 405 (1996)
  • О.А. Голиков, М.М. Казанин, Х.Ю. Мавлянов. ФТП, 28, 1329 (1994)
  • K. Asano. Appl. Phys. Lett., 56, 533 (1989)
  • М.М. Мездрогина, О.А. Голикова, К. Арлаускас, Г. Юшка, М.М. Казанин, Р. Хайдаров. Неорг. матер., 27, 666 (1991)
  • М.М. Мездрогина, О.А. Голикова, М.М. Казанин, Р. Икрамов. ЖТФ, 62, вып. 1, 108 (1992)
  • G. Schumm. Phys. Rev. B, 49, 2442 (1994)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.