"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности формы линии при спектрометрии ионов Si-детекторами
Ильяшенко И.Н.1, Строкан Н.Б.1, Шмидт Б.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики ионных пучков и исследования материалов Исследовательского центра Россендорф, Дрезден, Германия.
Поступила в редакцию: 31 января 1996 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1996 г.

Предлагается модель, объясняющая характерные искажения формы спектральной линии Si-детектора при регистрации тяжелых ионов. Появление группы импульсов в правой (высокоэнергетичной) области амплитудного спектра связывается с рекомбинацией неравновесного заряда. Рекомбинация происходит в приповерхностной области детекторной структуры, где перенос заряда осуществляется путем диффузии. Флуктуации амплитуды сигнала возникают вследствие участия атомов отдачи Si, которые рождают пары электрон--дырка в конкретных сечениях ''входного окна'' детектора. Непосредственно тяжелые ионы производят ионизацию по глубине равномерно, что приводит к определенным потерям заряда, но не сопровождается заметными флуктуациями.
  • Е.М. Вербицкая, В.К. Еремин, А.М. Маляренко, Н.Б. Строкан, В.Л. Суханов. Письма ЖТФ, 12, 1254 (1986)
  • J. Lindhard, V. Nielsen. Phys. Lett., 2, 209 (1962)
  • E. Steinbauer, P. Bauer, M. Geretschlager, G. Bortels, J.P. Biersack, P. Burger. Nucl. Instrum. Meth. B, 85, 642 (1994)
  • P.F. Hinrichsen, D.W. Hetherington, S.C. Gujrathi, L. Cliche. Nucl. Instrum. Meth. B, 45, 275 (1990)
  • N.B. Strokan, V. Eremin, N.I. Tisnek, S.A. Lomashevich. IEEE Trans. NS-19, 362 (1972)
  • В.К. Еремин, Л.С. Медведев, Н.Б. Строкан. ФТП, 22, 1239 (1988)
  • А.С. Волков, З.А. Петрушина, З.А. Саимкулов, Н.Б. Строкан, Н.И. Тиснек. ФТП, 7, 1760 (1973)
  • Б.М. Будак, А.А. Самарский, А.Н. Тихонов. \it Сборник задач по математической физике (М., Наука, 1972)
  • \it Ion Implantation. Sciens and Technology, ed. by J.F.Ziegler. (Academic Press, 1984)
  • Ю. Вайткус, В. Гривицкас. ФТП, 15, 1894 (1981)
  • W. Seibt, K.E. Sundstrom, P.A. Tove. Nucl. Instrum. Meth., 113, 317 (1973)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.