"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Получение и свойства пленок низкотемпературного тетраэдрического аморфного углерода
Коньков О.И.1, Теруков Е.И.1, Трапезникова И.Н.1
1Физико-технический институт Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 октября 1995 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1996 г.

Пленки высоко-тетраэдрического аморфного углерода были получены разложением смеси метана в аргоне/водороде в плазме тлеющего разряда при температурах около 300 K. Исследовались структурные и оптические свойства. В результате были получены оптически прозрачные пленки аморфного углерода с показателем преломления 1.5/ 2.2 и полностью 2.75/ 2.80 г/см3. Концентрация оптически активных водородных атомов находилась в диапазоне 21/ 28 ат%. Отношение sp3- и sp2-связей лежало в диапазоне 0.80/ 0.85. Ширина оптической запрещенной зоны составляла 3.0/ 3.6 эВ, электронная подвижность <2 см2/В· с, удельное сопротивление 0.01/ 1016 Ом· см. В спектрах фотолюминесценции обнаружена широкая полоса с максимумом на длинах волн 487/ 493 нм и полушириной 60/ 80 нм.
  • D.R. Mc Kenzie. Phys. Rev. Lett., 67, 773 (1991)
  • D.R. Mc Kenzie, D. Muller, B.A. Pailthorpe, Z.H. Wang, E. Kravtchinskaia, D. Segal. Diam. Rel. Mater., 1, 51 (1991)
  • M.A. Tamor. Appl. Phys. Lett., 58, 592 (1991)
  • B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
  • С.Н. Михайлов, И.Н. Трапезникова, Е.И. Теруков. В сб.: \it Тезисы Всесоюзного семинара по аморфным полупроводникам и их применениям (Л., 1991) с. 72
  • S.V. Chernyshov, E.I. Terukov, V.A. Vassilyev, A.S. Volkov. J. Non-Cryst. Sol., 134, 218 (1991)
  • А.А. Бабаев, М.Ш. Абдулвагабов, И.Н. Трапезникова, Е.И. Теруков. Неорг. матер., 27, 2205 (1991)
  • О.И. Коньков, И.Н. Трапезникова, Е.И. Теруков. ФТП, 28, 1406 (1994)
  • J.C. Angus. Diam. Rel. Mater., 1, 61 (1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.