"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Изменение свойств пленок аморфного гидрированного карбида кремния a-Si1- xC x:H в результате отжига
Бабаев А.А.1, Трапезникова И.Н.1, Коньков О.И.1, Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 октября 1995 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1996 г.

Исследована фотолюминесценция пленок гидрированного аморфного карбида кремния a-Si1-xCx:H, полученных разложением газовой смеси ( SiH4+C2H2+Ar/H2) в плазме тлеющего разряда при температурах (200--250) oC и отожженных при 400 oC в вакууме с целью модификации свойств материала, в частности эффективности фотолюминесценции. Было показано, что в результате отжига меняются как структурные, так и оптические свойства пленок, в частности, эффективность фотолюминесценции возрастала на 1--2 порядка для широкого диапазона составов.
  • Y. Hamakawa. \it Springer Proc. in Phys. (Berlin, Heidelberg, Springer-Verlag, 1989) V. 43, p. 164
  • J. Bullot, S.P. Schmidt. Phys. St. Sol. (b), 143, 345 (1987)
  • V.A. Vassilyev, A.S. Volkov, E. Musabekov, S.V. Chernyshov, E.I. Terukov. J. Non-Cryst. Sol., 114, 507 (1989)
  • А.А. Бабаев, М.Ш. Абдулвагабов, Е.И. Теруков, И.Н. Трапезникова. Неорг. матер., 27, 2205 (1991)
  • Е.И. Теруков, И.Н. Трапезникова, Джон Сен Хо, Г.Н. Виолина. В сб.: \it Известия ЛЭТИ (Л., Изд-во ЛЭТИ, 1991) вып. 433, с. 66
  • О.И. Коньков, И.Н. Трапезникова, М.П. Власенко, Е.И. Теруков, Г.Н. Виолина. ФТТ, 34, 328 (1992)
  • I.N. Trapeznikova, O.I. Konkov, E.I. Chelnokov, M.P. Vlasenko. Inst. Phys. Ser. 137, ch. 2, 125 (1993)
  • Г.Н. Виолина, Джон Сен Хо, И.Н. Трапезникова. В сб.: \it Тезисы Всесоюзного семинара по аморфным полупроводникам и их применениям (Л., Изд-во ЛИЯФ, 1991) с. 38
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.