"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Последовательные превращения золотосодержащих комплексов в кремнии n-типа проводимости при насыщении атомарным водородом
Парахонский А.Л.1, Феклисова О.В.1, Карелин С.С.1, Ярыкин Н.А.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 30 июня 1995 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1996 г.

Исследуется энергетический спектр и пространственное распределение центров с глубокими уровнями, возникающих в кристаллах кремния, легированных золотом, в результате насыщения атомарным водородом при комнатной температуре. Обнаружено, что пассивация электрической активности атомов золота в кремнии протекает через промежуточные стадии, определяемые последовательным присоединением атомов водорода.
  1. S.J. Pearton, A.J. Tavendale. Phys. Rev. B, 26, 7105 (1982)
  2. S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys. A, 43, 153 (1987)
  3. S.J. Pearton. In: \it Semiconductors and Semimetals, ed. by J.I. Pankove, N.M. Johnson (Academic, San Diego, 1991), v. 34, p. 66
  4. С.В. Ковешников, С.В. Носенко, Е.Б. Якимов. ФТП, 22 922 (1988)
  5. E.O. Sveinbjornsson, O. Engstrom. Appl. Phys. Lett., 61, 2323 (1992)
  6. T. Sadoh, H. Nakashima, T. Tsurushima. J. Appl. Phys., 72, 520 (1992)
  7. H. Feichtinger, E. Sturm. Mater. Sci. Forum, 143--147, 111 (1994)
  8. E.O. Sveinbjornsson, G.I. Andersson, O. Engstrom. Phys. Rev. B, 49, 7801 (1994)
  9. S. Shapoval, P. Bulkin, A. Chumakov. Vacuum, 43, 195 (1992)
  10. О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов, Н.А. Ярыкин. ФТП, 28, 2179 (1994)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.