"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Пленки аморфного гидрированного кремния, осажденные при повышенных температурах
Голикова О.А.1, Казанин М.М.1, Коньков О.И.1, Кудоярова В.Х.1, Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 апреля 1995 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.

Представлены результаты исследования оптических, электрических и структурных свойств пленок нелегированного a-Si : H, полученных методом тлеющего разряда при температурах Ts=200/400oC. Использовались реакторы разных типов (диод или триод), различное содержание SiH4 в газовой смеси, разные газы--разбавители (Ar, He, H2). Материал a-Si : H приборного качества с низким содержанием водорода ( C~ 3 ат.%) получен при Ts=400oC, когда другие параметры и условия эксперимента были оптимизированы.
  • R.A. Street, J. Kakalios, T.M. Hayes. Phys. Rev. B, 34, 3030 (1988)
  • N. Hata, S. Wagner. J. Appl. Phys., 72, 2857 (1992)
  • О.А. Голикова, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, К.Л. Сорокина, У.С. Бабаходжаев. ФТП, 23, 1737 (1989)
  • U. Schneider, B. Schroder. In: \it Amorphous Silicon and Related Materials, ed. by H. Fritzsche (World Scientific, Singapore, 1989) p. 687
  • О.А. Голикова, Э.П. Домашевская, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, К.Л. Сорокина, В.А. Терехов, С.Н. Тростянский. ФТП, 23, 450 (1989)
  • О.А. Голикова, Х.Ю. Мавлянов, И.Н. Петров, Р.Г. Яфаев. ФТП, 29, 577 (1995)
  • H. Dersch, A. Skumanich. N. Amer. Phys. Rev. B, 31, 6913 (1985)
  • О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
  • M. Yamaguchi, K. Morigaki. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 200 (1991)
  • J. Yang, X. Xu, S. Guha. MRS Symp. Proc., 336, 687 (1994)
  • О.А. Голикова, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, П.П. Серегин. ФТП, 21, 1464 (1987)
  • R.M.A. Dawson, C.M. Fortmann, M. Gunes, Y.M. Li, S.S. Nag, R.W. Collins, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 63, 955 (1993)
  • A. Matsuda, K. Tanaka. J. Appl. Phys., 60, 2351 (1986)
  • G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3661 (1993)
  • U. Kroll, J. Meier, M. Goetz, A. Howling, J.-L. Dorier, J. Dutla, A. Shan, Ch. Hollenstein. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 59 (1993)
  • N.M. Johnson, P.V. Santos, C.E. Nebel, W.B. Jackson, R.A. Street, K.S. Stevens, J. Walker. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 235 (1991)
  • V.L. Dalal, M. Leonard, G. Baldwin. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 71 (1993)
  • R. Zedlitz, F. Kessler, M. Heintze. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 83 (1993)
  • M. Vanecek, B.P. Nelson, A.H. Mahan, R.S. Crandall. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 191 (1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.