"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование фотоэдс и фотоиндуцированного захвата заряда в пористом кремнии
Матвеева А.Б.1, Константинова Е.А.1, Тимошенко В.Ю.1, Кашкаров П.К.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 13 февраля 1995 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1995 г.

Изучены спектральные и кинетические зависимости фотовольтаических эффектов в структурах пористый кремний--кристаллическая подложка. Исследовались как свежеприготовленные, так и специально состаренные на воздухе образцы. Впервые помимо компоненты фотоэдс, связанной с областью обеднения в кремниевой подложке на границе с пористым слоем, обнаружена фотоэдс, формируемая в самом пористом кремнии. Установлено, что на поверхности пор присутствуют электронные состояния с временами перезарядки порядка нескольких минут. Свойства этих состояний изменялись при термовакуумных обработках структур. На состаренных образцах зарегистрированы также ''сверхмедленные'' ловушки для дырок с временами релаксации несколько часов. Указанные ловушки локализованы в оксиде на поверхности кремниевого скелета пористого слоя. На основе полученных данных построена энергетическая диаграмма, поясняющая возникновение фотовольтаических эффектов в изучаемых структурах.
  • L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
  • P.C. Searson, J.M. Macaulay, S.M. Prokes. J. Electrochem. Soc., 139, 3373 (1992)
  • G. Bomchil, A. Halimaoui, I. Sagnes, P.A. Badoz, I. Berbezier, P. Perret, B. Lambert, G. Vincent, L. Garchery, J.L. Regolini. Appl. Surf. Sci., 65/66, 394 (1993)
  • М.Б. Бреслер, И.Н. Яссиевич. ФТП, 27, 871 (1993)
  • F. Yan, X.-M. Bao, T. Gao. Sol. St. Commun., 91, 341 (1994)
  • Zhengfu Han, Junyan Shi, Hai Tao, Li Gong, Shaojun Fu, Chaoshu Shi, Xingyi Zhang. Phys. Lett. A, 186, 265 (1994)
  • В.Ф. Киселев, О.В. Крылов. \it Электронные явления в адсорбции и катализе на полупроводниках и диэлектриках (М., 1979)
  • В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. \it Дефекты в кремнии и на его поверхности (М., 1990)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.