Представлены результаты исследований структуры, морфологии, электрических и оптических параметров, а также спектров плотности состояний в окрестности уровня Ферми аморфных и аморфно-кристаллических гидрогенизированных пленок углерода, полученных методом высокочастотного ионно-плазменного распыления твердой мишени в атмосфере аргон-водород при различных значениях температуры подложки T_s. Пленки, осажденные при T_s=< 200^oC, характеризуются аморфной структурой, глобулярным строением поверхности и относительно низкими значениями электропроводности и оптической ширины запрещенной зоны. По мере увеличения T_s до 400^oC наблюдаются исчезновение глобул на поверхности пленок, появление кристаллической фазы, увеличение электропроводности более чем на четыре порядка величины и оптической ширины запрещенной зоны до 3.5-3.7 эВ. В изученных пленках обнаружен и исследован эффект псевдолегирования, природа которого связывается с изменениями состава осаждаемого материала.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.