ФТП, 2010, том 44, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Контроль состава гетероэпитаксиальных слоев Cd1-zZnzTe методом спектральной эллипсометрии

М.В.Якушев\kern1pt*,, В.А.Швец\kern1pt*,+, И.А.Азаров\kern1pt*, С.В.Рыхлицкий\kern1pt*,
Ю.Г.Сидоров\kern1pt*, Е.В.Спесивцев\kern1pt*, Т.С.Шамирзаев\kern1pt*

* Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук,
630090 Новосибирск, Россия
+ Новосибирский государственный университет,
630090 Новосибирск, Россия

(Получена 27 апреля 2009 г. Принята к печати 4 мая 2009 г.)

Представлен программно-аппаратный комплекс на основе спектрального эллипсометра, интегрированного в установку молекулярно-лучевой эпитаксии, предназначенный для контроля состава твердого раствора Cd1-zZnzTe при малых значениях z. Рассмотрены методические особенности определения состава растущих слоев из спектров эллипсометрических параметров. Разработана методика определения состава по краю поглощения, которая позволяет с точностью 1.2% измерять этот параметр. Рассмотрены проблемы, решение которых позволит повысить разрешение по составу. В частности, для этого требуется поддержание стабильной температуры в процессе роста.

 PDF версия (601Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster