ФТП, 2009, том 43, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Инфракрасная люминесценция в термообработанном кремнии

В.В.Болотов, В.Е.Кан

Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова
Сибирского отделения Российской академии наук,
644017 Омск, Россия

(Получена 27 марта 2008 г. Принята к печати 27 марта 2008 г.)

При возбуждении излучением лазерного диода Nd-YAG в образцах кремния как n-, так и p-типа проводимости с различным содержанием межузельного кислорода исследована околокраевая инфракрасная фотолюминесценция с максимумом полосы при E=1.084 эВ. Проведенные термические обработки показали практически полное исчезновение люминесценции при прогревах при T=1050oC и ее частичное двухстадийное восстановеление при последующих прогревах в диапазоне температур 550-800oC. Температурные интервалы гашения и возникновения фотолюминесценции (500-600 и 700-800oC) коррелируют с температурными интервалами растворения мелких кислородных преципитатов (1000oC) и возникновения кислородсодержащих термодефектов, так называемых термодоноров I и II рода. На основе полученных данных сделан вывод, что электронные состояния, обусловленные термодонорами, являются ловушками для неравновесных носителей, опустошение которых вносит вклад в околокраевое излучение.

PACS: 61.72.Cc, 81.40.Ef, 81.40.Tv, 78.55.Ap

 PDF версия (253Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster