ФТП, 2004, том 38, выпуск 8

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Пьезосопротивление в пленках поликристаллического кремния p-типа

В.А.Гридчин, В.М.Любимский

Новосибирский государственный технический университет,
630092 Новосибирск, Россия

(Получена 1 декабря 2003 г. Принята к печати 20 января 2004 г.)

Описан эффект пьезосопротивления в поликристаллическом кремнии p-типа при рассеянии дырок на межкристаллитных потенциальных барьерах. Величины коэффициентов эластосопротивления при этом типе рассеяния близки к величинам коэффициентов эластосопротивления при рассеянии на ионах примеси и акустических колебаниях решетки. Расхождение между экспериментальными и расчетными коэффициентами эластосопротивления, возможно, может быть устранено при учете изменения эффективных масс при деформации, несферичности валентной зоны, \glqq малых эффектов\grqq, а также учете дополнительного (дополнительных) механизмов рассеяния.

 PDF версия (152Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster