ФТП, 2004, том 38, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Формирование толстых слоев пористого кремния при недостаточной концентрации неосновных носителей

Д.Н.Горячев , Л.В.Беляков, О.М.Сресели

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 3 декабря 2003 г. Принята к печати 4 декабря 2003 г.)

Исследованы особенности образования толстых слоев пористого кремния на кремниевых подложках n-типа в гальваностатическом режиме. Обнаружен скачок на зависимостях напряжение--время в процессе анодирования при освещении видимым светом без ИК составляющей. Скачок сопровождается возникновением крупноблочного нарушенного слоя кремния. Показано, что эти эффекты связаны с недостаточной концентрацией дырок, необходимых для травления кремния. В результате механизм генерации неосновных носителей изменяется от радиационного на механизм лавинного пробоя.

 PDF версия (226Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster