| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Формирование толстых слоев пористого кремния при недостаточной концентрации неосновных носителей
Д.Н.Горячев, Л.В.Беляков, О.М.Сресели
Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
(Получена 3 декабря 2003 г. Принята к печати 4 декабря 2003 г.)
|
Исследованы особенности образования толстых слоев пористого кремния на кремниевых подложках -типа в гальваностатическом режиме. Обнаружен скачок на зависимостях напряжение--время в процессе анодирования при освещении видимым светом без ИК составляющей. Скачок сопровождается возникновением крупноблочного нарушенного слоя кремния. Показано, что эти эффекты связаны с недостаточной концентрацией дырок, необходимых для травления кремния. В результате механизм генерации неосновных носителей изменяется от радиационного на механизм лавинного пробоя.
|
| PDF версия (226Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2004, Коллектив авторов Разработано... webmaster |