ФТП, 2004, том 38, выпуск 2

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Простая модель для расчета скорости роста эпитаксиальных слоев карбида кремния в вакууме

С.Ю.Давыдов , А.А.Лебедев, Н.С.Савкина, M.Syvajarvi *, R.Yakimova *

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
* Университет Линчепинга,
S-581 83 Линчепинг, Швеция

(Получена 29 декабря 2002 г. Принята к печати 3 июня 2003 г.)

В рамках простой модели, основанной на уравнении Гертца--Кнудсена, с учетом зависящего от температуры коэффициента прилипания, рассчитана зависимость скорости роста эпитаксиальных слоев карбида кремния в вакууме от температуры. Результаты расчета хорошо совпадают с экспериментальными данными.

 PDF версия (102Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster