ФТП, 2003, том 37, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Исследования физических явлений в полупроводниковых наноструктурах с использованием планарно-неоднородных слоев
1. Фотолюминесценция

Ю.В.Хабаров

Институт радиотехники и электроники Российской академии наук,
101999 Москва, Россия

(Получена 29 августа 2002 г. Принята к печати 30 августа 2002 г.)

Предложен и экспериментально продемонстрирован новый спектрально-корреляционный метод исследования полупроводниковых структур, предполагающий использование планарно-неоднородных слоев. Посредством фотолюминесцентной спектроскопии при 77 K исследован образец, выращенный методом молекулярно-лучевой эпитаксии и содержащий AlxGa1-xAs-GaAs и GaAs-InyGa1-yAs квантовые ямы и модуляционно-легированный AlxGa1-xAs-GaAs гетеропереход. Полученные зависимости спектров фотолюминесценции от параметров неоднородности позволили характеризовать процессы перераспределения носителей в структуре и обнаружить ряд особенностей фотолюминесценции узких GaAs-квантовых ям. Экспериментальные значения энергии оптических переходов согласуются с теоретическими оценками во всем диапазоне вариации параметров, определяемом неоднородностью, и могут служить основой для оценки параметров полупроводниковой структуры. Исследование показало высокую информативность примененного подхода благодаря возможности прецизионной вариации технологически формируемых параметров структуры в пределах одного образца.

 PDF версия (178Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster