Исследование электрофизических и газочувствительных свойств слоев нанокомпозита por-Si/SnOx
Болотов В.В.1, Росликов В.Е.1, Курдюкова Е.А.1, Кривозубов О.В.1, Стенькин Ю.А.1, Чередов Д.В.1
1Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
Поступила в редакцию: 9 июня 2011 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2011 г.
Исследованы электрофизические характеристики и чувствительность к химическим реагентам слоев гетерофизических нанокомпозитов на основе пористого кремния и нестехиометрического диоксида олова por-Si/SnOx, полученных методом магнетронного напыления олова с последующим окислением. Показано, что в слоях нанокомпозитов формируется система распределенных гетеропереходов (нанокристаллы Si/SnOx), определяющих электрические характеристики таких структур. Определена чувствительность тестовых сенсорных структур, созданных на основе нанокомпозитов por-Si/SnOx к NO2. Предложен механизм влияния адсорцбии молекул NO2 на вольт-амперные характеристики гетеропереходов por-Si(p)/SnOx(n).
- K. Kalantar-zadeh, B. Fry. Nanotechnology--Enabled Sensors (Springer Science + Business Media, 2008)
- W. Gopel, K.D. Schierbaum. Sensors Actuators B, 26-- 27, 1 (1995)
- В.Г. Петрук, А.Г. Кравец. ЖТФ. 77 (2), 86 (2007)
- J.R. Brown, P.W. Haycock, L.M. Smith, A.C. Jones, E.W. Williams. Sensors Actuators B, 63, 109 (2000)
- V. Simakov, A. Voroshilov, A. Grebennikov, N. Kucherenko, O. Yakusheva, V. Kisin. Sensors Actuators B, 137, 456 (2009)
- N. Barsan, M. Schweizer-Berberich, W. Gopel. Fresenius J. Anal. Chem, 365, 287 (1999)
- S. Borini. Appl. Phys., 102, 093 7709 (2007)
- G. Amoto, L. Boarino, F. Bellotti. Appl. Phys. Lett., 85, 4409 (2004)
- Z. Gaburro, C.J. Oton, L. Pavesi, L. Pancheri. Appl. Phys. Lett., 84, 4388 (2004)
- H. Meixner, U. Lampe. Sensors Actuators B, 33, 198 (1996)
- В.В. Болотов, П.М. Корусенко, С.Н. Несов, С.Н. Поворознюк, В.Е. Росликов, Е.А. Курдюкова, Ю.А. Стенькин, Р.В. Шелягин, Е.В. Князев, В.Е. Кан, И.В. Пономарева. ФТП, 45, 702 (2011)
- В.В. Болотов, Ю.А. Стенькин, В.Е. Росликов, В.Е. Кан, И.В. Пономарева, С.Н. Несов. ФТП, 43, 957 (2009)
- L.E. Davis, N.C. Macdonals, P.W. Palmberg, G.E. Riach, R.E. Weber. Handbook of Auger electron spectroskopy (Minnesota, PEI, 1986) p. 8
- Zhizhong Yuan, Dongsheng Li, Minghua Wang, Peiliang Chen, Daoren Gong. Appl. Phys. Lett., 92, 121 908 (2008)
- N. Barsan, U. Weimar. J. Electroceramics, 7, 143 (2001)
- Е.А. Константинова, Л.А. Осминкина, К.С. Шаров, Е.В. Курепина, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ЖЭТФ, 126 (4-10), 857 (2004)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук