"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Синтез, структура и электрические свойства нанокомпозита (SnO2)x(In2O3)1-x (x=0.5-1)
Рембеза С.И.1, Воронов П.Е.2, Синельников Б.М.2, Рембеза Е.С.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Северо-Кавказский государственный технический университет, Ставрополь, Россия
Поступила в редакцию: 20 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.

Приведены экспериментальные результаты синтеза тонких пленок (толщиной <1 мкм) нанокомпозитов (SnO2)x(In2O3)1-x с x=0.5-1 по массе, изготовленных методом высокочастотного магнетронного распыления металлооксидных мишеней в контролируемой атмосфере Ar+O2. Пленки, неанесенные на горячую подложку (400oC), исследовались методами рентгенофазового анализа, атомно-силовой микроскопии, оптическими и электричеcкими методами. Установлено влияние режимов синтеза и состава пленок на размер кристаллических зерен, ширину запрещенной зоны, концентрацию и подвижность свободных носителей заряда. Показано, что пленки состава (SnO2)x(In2O3)1-x с x=0.9 наиболее перспективны для применения в газовой сенсорике.
  • Р.В. Каттралл. Химические сенсоры (М., Научный мир, 2000)
  • А.А. Васильев, И.М. Олихов, А.В. Соколов. Электроника: Наука, Технология, Бизнес, N 2, 24 (2005).
  • Figaro: датчики газов (М., Додэка-XXI, 2202)
  • D.D. Vuong, G. Sakai, K. Shimanoe, N. Yamazoe. Sensors Actuators B, 103, 386 (2004)
  • М.М. Колтун. Селективные оптические поверхности преобразователей солнечной энергии (М., Наука, 1976)
  • Х. Геришер. Преобразование солнечной энергии. Вопросы физики твердого тела (М., Энергоиздат, 1982)
  • K.L. Chopra, S. Major, D.K. Pandya. Thin Sol. Films, 102, 1 (1983)
  • H. Kostlin, R. Jost, W. Lems. Phys. Status Solidi A, 29, 87 (1975)
  • M. Di Giulio, G. Micocci, A. Serra, A. Tepore, R. Rella, P. Siciliano. Sensors Actuators B, 24--25, 465 (1995)
  • J.C.C. Fan, F.J. Bachner. J. Electrochem. Soc., 122, 1719 (1975)
  • G.B. Barbi, J.P. Santos, P. Serrini, P.N. Gibson, M.C. Horrillo, L. Manes. Sensors Actuators B, 24--25, 559 (1995)
  • Л.Л.Мешков, С.Н. Нестеренко. Сенсор, 1, 32 (2003)
  • Е.С. Рембеза, Т.В. Свистова, С.И. Рембеза, А.С. Комарова, Н.Н. Дырда. Нано- и микросистемная техника, N 4, 27 (2006)
  • Е.С. Рембеза, Т.В. Свистова, С.И. Рембеза, А.С. Комарова, Н.Н. Дырда. Нано- и микросистемная техника, N 11, 23 (2006)
  • G. Sanon, A. Mansingh. Thin Sol. Films, 190, 287 (1990)
  • J. Watson, K. Ihokura, G.S.V. Coles. Meas. Sci. Technol., 4, 717 (1993)
  • Z.M. Jarzebski, J.P. Marton. J. Electrochem. Soc., 123, 333 (1976)
  • J.B. Dubow, D.E. Burk, J.R. Sites. Appl. Phys. Lett., 29. 494 (1976)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.