"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Компенсация проводимости p-6H-SiC при облучении протонами с энергией 8 МэВ
Лебедев А.А.1, Козловский В.В.2, Белов С.В.1, Богданова Е.В.1, Оганесян Г.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 марта 2011 г.
Выставление онлайн: 21 августа 2011 г.

Проведено исследование скорости удаления носителей заряда (VD) в p-6H-SiC при его облучении протонами с энергией 8 МэВ. Образцы p-6H-SiC были получены методом сублимации в вакууме. Величина VD определялась как на основе анализа вольт-фарадных характеристик, так и на основе данных измерения эффекта Холла. Было обнаружено, что полная компенсация образцов с исходным значением Na-Nd~1.5·1018 см-3 происходила при дозе облучения ~1.1·1016 см-2. Скорость удаления носителей при этом составила ~130 см-1.
  • N.S. Savkina, A.A. Lebedev, D.V. Davydov, A.M. Strel'chuk, A.S. Tregubova, M.A. Yagovkina. Mater. Sci. Eng. B, 61--62m 165 (1999)
  • Г.А. Ломакина, Ю.А. Водаков, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, Г.Ф. Холуянов. ФТТ, 12, 2918 (1970)
  • A.A. Lebedev, E.V. Bogdanova, P.L. Abramov, S.P. Lebedev, D.K. Nel'son, G.A. Oganesyan, A.S. Tregubova, R. Yakimova. Semicond. Sci. Technol., 23 075004S (2008)
  • Р. Смит. Полупроводники (М., Мир, 1982)
  • Properties of Advanced Semiconductor Materials: GaN, AlN, InN, BN, SiC, SiGe, ed by M.E. Levinshtein, S.L. Rumyantxev and M.S. Shur, (John Wiley \& Sons, Ins., 2001)
  • H. Matsuura, K. Aso, S. Kagamihara, H. Iwata, T. Ishida, K. Nishikawa. Appl. Phys. Lett., 83, 4981 (2003)
  • V.V. Kozlovski, E.V. Bogdanova, V.V. Emtsev, K.V. Emtsev, A.A. Lebedev, V.N. Lomasov. Mater. Sci. Forum, 483--485, 383 (2005)
  • В.В. Козловский, В.В. Емцев, К.В. Емцев, Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, В.Н. Ломасов, Г.А. Оганесян, А.А. Лебедев. ФТП, 42, 243 (2008)
  • В.В. Емцев, А.М. Иванов, В.В. Козловский, А.А. Лебедев, Г.А. Оганесян, Н.Б. Строкан. ФТП, 44, 706 (2010)
  • A.A. Lebedev, A.I. Veinger, D.V. Davydov, A.M. Strel'chuk, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina. J. Appl. Phys., 88, 6265 (2000)
  • N. Iwamoto, S. Onoda, S. Hishiki, T. Ohshima, M. Murakami, I. Nakano, K. Kawano. Mater. Sci. Forum, 600--603, 1043 (2009)
  • M. Mikelsen, U. Grossner, J.H. Bleka, E.V. Monakhov, B.G. Svensson, R. Yakimova, A. Henry, E. Janzen, A.A. Lebedev. Mater. Sci. Forum, 600--603, 425 (2009)
  • В.Т. Громов. Введение в радиационную физику твердого тела (Снежинск, Изд. ВНИИТФ, 2007)
  • H.J. von Bardeleben, J.L. Cantin, I. Vickridge, G. Battistig. Phys. Rev. B, 62, 10 126 (2000)
  • А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумаров, М.М. Темкин. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах (М., Энергоатомиздат, 1985)
  • Р.Ф. Коноплева, В.И. Остроумов. Взаимодействие заряженных частиц высоких энергий с германием и кремнием (М., Атомиздат, 1975)
  • Вопросы радиационной технологии полупроводников, под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, 1980)
  • А.М. Иванов, И.Н. Ильяшенко, Н.Б. Строкан, Б. Шмидт. ФТП, 29, 543 (1995)
  • J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Ranges of Ions in Solids (N.Y., Pergamon Press, 1985)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.