"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Технология получения гетеропереходов в решетке двумерного фотонного кристалла на основе макропористого кремния
Жарова Ю.А.1, Федулова Г.В.1, Астрова Е.В.1, Балдычева А.В.2, Толмачев В.А.1, Перова Т.С.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Department of Electronic and Electrical Engineering, University of Dublin, Trinity College, Dublin 2, Ireland
Поступила в редакцию: 26 января 2011 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2011 г.

Предлагается конструкция и технология изготовления микрорезонаторной структуры на основе двойного гетероперехода в макропористом кремнии. Рассмотрен процесс изготовления полоски двумерного фотонного кристалла, состоящего из конечного числа периодов решетки, и технология формирования дефекта путем локального вскрытия макропор со стороны подложки с последующим заполнением их нематическим жидким кристаллом.
  • E. Istrate, E.H. Sargent. Rev. Mod. Phys., 78, 455 (2006)
  • B.S. Song, S. Noda, T. Asano, Y. Akahne. Nature Mater., 4, 207 (2005)
  • Y. Takahashil, H. Hagino, Y. Tanaka, B.S. Song, T. Asano, S. Noda. Opt. Express, 15, 17 206 (2007)
  • C. Smith, D.K.C. Wu, M.W. Lee, C. Monat, S.T. Hanic, C. Grillet, B.J. Eggleton. Appl. Phys. Lett., 91, 121 103 (2007)
  • S.T. Hanic, C.M. Sterke, M.J. Steel. Opt. Express, 14, 12 451 (2006)
  • F. Intonti, S. Vignolini, V. Turck, M. Colocci, P. Bettotti, L. Pavesi, S.L. Schweizer, R. Wehrspohn, D. Wiersma. Appl. Phys. Lett., 89, 211 117 (2006)
  • V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  • V. Lehmann. Electrochemistry of Silicon (Germany, Wiley VCH, 2002)
  • T. Geppert, S.L. Schweizer, U. Gosele, R.B. Wehrspohn. Appl. Phys. A, 84, 237 (2006)
  • Е.В. Астрова, Г.В. Федулова, Е.В. Гущина. ФТП, 44 (12), 1666 (2010)
  • S. Ottow, V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 143 (1), 385 (1996)
  • Е.В. Астрова, Т.Н. Боровинская, В.А. Толмачев, Т.С. Перова. ФТП, 38 (9), 1125 (2004)
  • J.D. Joannopoulos, S.G. Johnson, J.N. Winn, R.D. Meade. Photonic Crystals. Molding the Flow of Light. 2nd edn (Princeton University Press, Princeton and Oxford, 2008), http://press.princeton.edu
  • Г.Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств (М., Радио и связь, 1991)
  • I. Zubel, M. Kramkowska. Sensors Actuators A, 101, 255 (2002)
  • V.A. Tolmachev, T.S. Perova, E.V. Astrova, B.Z. Volchek, J.K. Vij. Phys. Status Solidi A, 197 (2), 544 (2003)
  • F. Genereux, S.W. Leonard, H.M. van Driel, A. Birner, U. Gosele. Phys. Rev. B, 63, 16 111 (R) (2001)
  • Data from Merck K GaA, Germany
  • S.-T. Wu. Opt. Eng., 26 (2), 1208 (1987)
  • S.A. Dyakov, S.G. Tikhodeev, E.V. Astrova, V.A. Tolmachev, T.S. Perova, V.Yu. Timoshenko. SPIE, Photonics Europe, 12-16 April 2010, Brussele, Belgium (Presentation N 7717-62)
  • А.Д. Ременюк, Е.В. Астрова, Р.Ф. Витман, T.S. Perova, В.А. Толмачев, J.K. Vij. ФТТ, 48 (2), 361 (2006)
  • H.-S. Kitzerow, A. Lorenz, H. Matthias. Phys. Status Solidi A, 204 (11), 3754 (2007)
  • T.S. Perova, E.V. Astrova, S.E. Tsvetkov, A.G. Tkachenko, J.K. Vij, S. Kumar. ФТТ, 44 (6), 1145 (2002)
  • Л.М. Блинов. Электро- и магнитооптика жидких кристаллов (М., Наука, 1978)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.